OHKURA大倉 RD2210A4 金屬膜片微型閥
OHKURA大倉 RD2210A4 金屬膜片微型閥?
金屬膜片減壓閥/
RD2210A
◆ 下載
規(guī)格表(第 6 版)
該金屬膜片減壓閥可用于摻雜、外延等半導(dǎo)體工業(yè)用途、各種化學(xué)分析、特殊氣體、高純氣體、腐蝕性氣體等。
特征
■潔凈材料
隔膜通過金屬接頭密封在閥體上,所有產(chǎn)品都經(jīng)過氦氣泄漏檢查,無油、無水且經(jīng)過清潔。
■高通用性
有八種類型可用于高壓和低壓,并且可進(jìn)行面板安裝和底部安裝。
規(guī)格
物品
高壓
RD210A1□1□
低壓
RD210A4□2□
耐壓性
最大24.5MPa
最大2.94MPa
使用的主要壓力
最大14.7MPa
最大2MPa
設(shè)定壓力范圍
171.6kPa
343kPa
686kPa
1372kPa
2059kPa
171.6千帕
343千帕
686千帕
有效孔口
φ0.7
φ2
CV值
0.015
0.1
一次壓力特性*1
0.5%
*1 一次壓力特性 (設(shè)定壓力變動范圍/一次壓力變動范圍)×100(10l/min時)
1.3%
*1 一次壓力特性(設(shè)定壓力變動幅度/一次壓力變動幅度)×100(10 l/min時)
可重復(fù)性
±0.98千帕
滯后
±3.92千帕
外部泄漏
1.013×10-10Pa?m3/s(氦)以下
內(nèi)部泄漏
1.013×10-8Pa?m3/s(氦氣)以下
與流體接觸部件的材料
SUS316、SUS316L、聚三氟氯乙烯
工作溫度范圍
-10 至 80°C
港口
60° 進(jìn)×2 出×2
90° 進(jìn)×1 出×2
連接端口
(連接VCR)
1/4NPT
Rc1/4
VCR1/4GR *2
*2 VCR是Swagelok公司的注冊商標(biāo)。
大量的
920克
面板切割
φ33
我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細(xì):
代理品牌:CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森
優(yōu)勢品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)
SURUGA駿河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO東京計裝
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