目錄:聚光科技(杭州)股份有限公司>>工業(yè)過程監(jiān)測儀器>>工業(yè)質譜>> ProRGA-7000殘余氣體質譜分析儀
產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 200萬-300萬 |
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應用領域 | 電子 |
產品簡介:
ProRGA-7000是聚光科技基于質譜分析技術平臺開發(fā)的一款高性能殘余氣體分析儀,用于檢測特定真空區(qū)域內關鍵氣體分壓,適用于真空度10Pa到常壓應用場合。具有毫秒級響應速度和ppb級的靈敏度,非常適合檢測真空泄露狀態(tài),如電池、半導體、凍干機等真空腔體內部特定過程相關氣體的污染水平或動態(tài)波動,并及時提醒用戶可能產生的潛在風險,提升產品良品率。
產品特點
檢測效率高:支持多個標記物同時檢測,單組分檢測事件小于0.5s。
產品自動化:具備自動校準功能,消除傳感器云頂飄逸,確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性
高精度:采用高精度四極桿質量分析器,適用于真空度10Pa到常壓應用場合下ppb級殘余氣體分析。
應用領域
電池、半導體、凍干機等行業(yè)