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目錄:牛津儀器(上海)有限公司>>Ion Beam>> Ionfab 300 IBE

Ionfab 300 IBE
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更新時(shí)間：2022-11-30 09:03:23瀏覽次數(shù)：431評(píng)價(jià)

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離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應(yīng)用范圍廣。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項(xiàng)，包括直開(kāi)式、單襯底傳送模式和盒式對(duì)盒式模式。系統(tǒng)配置與實(shí)際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。 詢價(jià) 增加到詢價(jià)列表 在詢價(jià)列表中查看此產(chǎn)品
  • 質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
  • 產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計(jì)­ ——運(yùn)行成本低
  • 高速襯底架（高達(dá)1000RPM）設(shè)計(jì)，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為準(zhǔn)確的實(shí)時(shí)光學(xué)薄膜控制
  • 配置靈活 ——適于良好的研究應(yīng)用
  • 靈活的晶圓操作方式 —— 直開(kāi)式、單晶圓傳送模式或者帶機(jī)械手臂的盒對(duì)盒模式
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