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目錄:牛津儀器(上海)有限公司>>IBD>> Ionfab 300 IBD

Ionfab 300 IBD
  • Ionfab 300 IBD
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更新時間：2022-11-30 16:04:22瀏覽次數(shù)：190評價

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  • 質量薄膜高 ——超低污染
  • 產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設計­——運行成本低
  • 高速襯底架（高達1000RPM）設計，并配備了白光光學監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實時光學薄膜控制
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  • 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式

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