原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置計(jì)算出被測(cè)樣品的相對(duì)高度，從而得到樣品表面的三維尺寸信息。如下圖所示。

白光干涉儀的優(yōu)點(diǎn)

非接觸式測(cè)量，不損傷樣品；

測(cè)試效率高，幾秒鐘成像，自動(dòng)分析結(jié)果；

高度方向分辨率高，在不同物鏡下均可達(dá)0.1nm，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量；

優(yōu)異的重復(fù)性；

分析功能強(qiáng)大，簡(jiǎn)便易用；

優(yōu)異的擴(kuò)展性。

白光干涉儀的作用

可以進(jìn)行膜厚測(cè)量，溝槽測(cè)量，翹曲分析，表面粗糙度測(cè)量，表面高度及盲孔測(cè)量，樣品表面圖案尺寸測(cè)量等。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，光學(xué)器件，太陽(yáng)能電池，MEMS，生命科學(xué)，材料學(xué)等行業(yè)。

布魯克白光干涉儀介紹

WYKO白光干涉儀誕生于1982年，2010年加入布魯克，與布魯克強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，經(jīng)過(guò)40多年技術(shù)不斷發(fā)展及革新，布魯克白光干涉儀已經(jīng)逐步在行業(yè)中內(nèi)有良好口碑。且：

3項(xiàng) 美國(guó)R&D 100 大獎(jiǎng)

6項(xiàng) Photonics Circle of Excellence Awards大獎(jiǎng)

根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景及樣品情況，布魯克有以下等多個(gè)型號(hào)供用戶選擇：

ContourX-100                                ContourX-200

ContourX-500                             ContourX-1000   

NPFLEX-1000                                    ContourSP

應(yīng)用及效果

布魯克白光干涉儀的應(yīng)用及效果

表面粗糙度測(cè)量

表面高度測(cè)量

表面高度及盲孔測(cè)量

溝槽自動(dòng)分析

三維實(shí)時(shí)測(cè)量

表面翹曲測(cè)量

軟件界面分析

       布魯克白光干涉儀因其操作簡(jiǎn)便，分辨率及重復(fù)性良好，軟件分析功能強(qiáng)大，且售后服務(wù)專業(yè)及時(shí)等優(yōu)點(diǎn)，從而成為形貌測(cè)量工程師的選擇，并被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體，光學(xué)器件，太陽(yáng)能，微電子，材料學(xué)等各個(gè)行業(yè)。