旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)的工作原理

“旋涂機(jī)”是一種利用旋轉(zhuǎn)離心力的涂布裝置，也被稱為“旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)”。對(duì)于平滑的被涂物（工件），能夠形成薄且均勻的涂層。旋涂機(jī)的用途非常廣泛，代表性用途包括半導(dǎo)體晶圓的表面處理、光阻涂布等流程類工序，以及光學(xué)媒介涂膜、鏡頭底劑及調(diào)光液的涂布等。

1. A. 旋轉(zhuǎn) B. 被涂物表面C. 涂液

將涂液滴落在被涂物（工件）的中心，進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)。加速旋轉(zhuǎn)會(huì)對(duì)涂液施加離心力，使涂液擴(kuò)散到整個(gè)表面并成膜。涂布膜厚取決于涂液的粘度、被涂物的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)啟動(dòng)加速度、與干燥速度相關(guān)的排氣。
旋涂的原理是依靠旋轉(zhuǎn)離心力將多余的涂液甩離被涂物，因此實(shí)際成膜的液量要少于滴落的液量，存在會(huì)導(dǎo)致材料損耗的缺點(diǎn)。

為了通過(guò)排氣控制干燥速度，防止涂液飛濺到設(shè)備外部，避免異物混入，旋轉(zhuǎn)體及滴落的機(jī)構(gòu)通常都會(huì)被收納在箱體中，或采用涂裱時(shí)關(guān)閉上蓋的設(shè)計(jì)式樣。
設(shè)備的基本原理在近幾十年并未改變，但適用于被涂物不同尺寸、重量、材質(zhì)的裝置，轉(zhuǎn)速（速度）控制、自動(dòng)滴落之類的規(guī)格功能等，都實(shí)現(xiàn)了更加多樣化的發(fā)展。