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等離子表面處理儀是一種緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng)，主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒(méi)有真空條件下，迅速活化和清理材料表面。為了獲得高質(zhì)量的外延薄膜或者光學(xué)涂層，預(yù)先進(jìn)行表面處理可以得到好的效果。
等離子表面處理儀的優(yōu)點(diǎn)：
1.可清除表面有機(jī)污染物。
2.清洗快速、操作簡(jiǎn)便、使用和維護(hù)成本較低。
3.非破壞性、對(duì)被清洗物表面光潔度無(wú)損害。
4.綠色環(huán)保、不使用化學(xué)溶劑、無(wú)二次污染。
5.常溫條件下清洗，被清洗物的溫度變化微小。
6.能清洗各種幾何形狀、粗糙程度各異的表面。
應(yīng)用：
1.表面清洗：設(shè)備生產(chǎn)的等離子體內(nèi)有大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，通過(guò)物理及化學(xué)反應(yīng)，將表面污染物、雜質(zhì)清除，達(dá)到表面清洗的作用。
2.表面改性：等離子體與物體表面發(fā)生反應(yīng)，使得物體表面的化學(xué)鍵斷裂，等離子體中的自由基反應(yīng)生產(chǎn)新鍵，大大提供表面活性，有利于粘接、涂覆等工藝。
3.表面刻蝕：通入腐蝕性氣體進(jìn)行等離子體反應(yīng)時(shí)，氣體與物體表面反應(yīng)生產(chǎn)揮發(fā)性物質(zhì)，通過(guò)真空泵抽離，在表面形成需要的圖案、形狀，完成刻蝕效果。
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