化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機(jī)>CPC-10/Plus CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
CPC-10/Plus CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
- 公司名稱 華儀行(北京)科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 CPC-10/Plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/25 15:59:51
- 訪問次數(shù) 2020
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半導(dǎo)體領(lǐng)域儀器設(shè)備:等離子清洗機(jī)、紫外臭氧清洗機(jī)、勻膠機(jī)、烤膠機(jī)等。 理化實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備:酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源 |
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產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
◆ 石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
◆ 采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。
◆ HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。
◆ 頂置真空艙,上開蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。
◆ 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。
◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。
◆ 有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ 安全保護(hù),艙門打開,自動關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù):
型號 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | ||
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | ||
氣體控制 | 雙浮子流量計(jì) | 單路 MFC(可選兩路) | ||
艙體尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | ||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | ||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
時間設(shè)定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
真空泵 | 抽速 8m3/h | 抽速 8m3/h | ||
氣體穩(wěn)定時間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
真空度 | 100pa 以內(nèi) | 100pa 以內(nèi) | ||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | ||
產(chǎn)品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整機(jī)重量 | 55kg | 55kg |