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一、勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
二、勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng)，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度一般在500—1000nm，同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊功能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵，起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開并使膠均勻的決定因素。
三、真空泵一定要無(wú)油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過(guò)國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。
四、真空泵一般采用無(wú)油泵，即通常說(shuō)的干泵，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。有的勻膠機(jī)通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
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