勻膠機(jī)

一、產(chǎn)品介紹

CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，最多100個(gè)階段。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋開(kāi)傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

u 樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。

u 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。

u 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤(pán)設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

u 上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置

u 可選氮?dú)獯蹈?、氮?dú)獗Ｗo(hù)，自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

三、技術(shù)參數(shù)