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什么是聚焦離子束電鏡,它是如何工作的?

來源:北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司   2024年08月14日 15:37  
  聚焦離子束電鏡是一種利用高能量的離子束對樣品表面進(jìn)行掃描、成像和加工的技術(shù),通過在同一設(shè)備中集成電子束和離子束,實現(xiàn)了對樣品的高精度成像和加工。
 
  聚焦離子束電鏡的工作原理可以分為以下幾個步驟:
 
  1、離子源產(chǎn)生離子:一個液態(tài)金屬在加熱后形成氣體,通過施加高電壓使氣體中的金屬原子電離,形成離子。這些離子隨后被提取并通過一系列透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦。
 
  2、離子束的聚焦與掃描:經(jīng)過聚焦的離子束直徑可以達(dá)到幾十納米甚至更小,具有高的能量密度。這個細(xì)小的離子束被精確控制,可以在樣品表面進(jìn)行掃描。
 
  3、樣品表面的相互作用:當(dāng)高能離子束撞擊樣品表面時,會與樣品材料發(fā)生相互作用,包括物理撞擊導(dǎo)致的材料去除、化學(xué)反應(yīng)以及二次電子和離子的發(fā)射等。這些相互作用可以用來對樣品進(jìn)行刻蝕、沉積或成像。
 
  4、成像與分析:通常配備有二次電子探測器和離子探測器,可以收集從樣品表面發(fā)射出的二次電子和離子。通過分析這些信號,可以得到樣品表面的高分辨率圖像。
 
  5、微納加工:一個重要應(yīng)用是微納加工,它能夠在微米甚至納米尺度上對材料進(jìn)行精確切割、鉆孔、沉積和修復(fù)。這種加工能力使得其在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
 
  6、三維成像與切片:還可以用于三維成像技術(shù),通過逐層去除樣品材料并成像,可以獲得樣品內(nèi)部的三維結(jié)構(gòu)信息。
 
  聚焦離子束電鏡因其高精度的加工能力和成像功能,在材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、生物學(xué)以及地質(zhì)學(xué)等多個領(lǐng)域都有重要的應(yīng)用。它可以用于樣品的準(zhǔn)備、微觀結(jié)構(gòu)的觀察、故障分析以及納米級器件的制造和修改。

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