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勻膠機(jī)是一種在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)的微加工、生物、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域，或用于樣件較小無法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜。
勻膠機(jī)主要具有以下特點(diǎn)？
1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的實(shí)驗(yàn)人員來說，可能無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
2、真空吸附系統(tǒng)：真空泵一般采用無油泵，即干泵，因?yàn)槿魏斡臀鄱伎赡芏氯婵展艿?。如果真空吸附力降低，會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制，在真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)，可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
3、材質(zhì)選擇：對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵。大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，但這種材質(zhì)的成本較低，其中不銹鋼對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料則在較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。變形如果引起托盤的位置失去水平，將會導(dǎo)致旋涂時產(chǎn)生時高時低的顛簸狀態(tài)，無法得到好的旋涂效果。因此，有的勻膠機(jī)會采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)等材質(zhì)。
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