RTS-7型二探針測(cè)試儀應(yīng)用

RTS-7型二探針測(cè)試儀應(yīng)用

專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料縱向電阻率的儀器，統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)并生成縱向分布圖。    

電阻率測(cè)量范圍：0.00001～100000Ω·cm。    

此二探針測(cè)試儀主機(jī)的設(shè)計(jì)可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)四探針測(cè)試方法，一機(jī)雙用。二探針測(cè)試儀加配四探針測(cè)試臺(tái)和四探針探頭，可以變成四探針測(cè)試儀使用,一臺(tái)儀器主機(jī)同時(shí)實(shí)現(xiàn)二探針和四探針測(cè)試方法。    

    RTS-7型二探針測(cè)試儀是運(yùn)用二探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備，該儀器按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)（ASTM）SEMI MF397-1106（二探針?lè)y(cè)定硅棒電阻率的標(biāo)準(zhǔn)方法）推薦的材料驗(yàn)收檢測(cè)方法“兩探針?lè)ā?，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料縱向電阻率的儀器。
    儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、二探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
     此二探針測(cè)試儀主機(jī)的設(shè)計(jì)可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)四探針測(cè)試方法，一機(jī)雙用。二探針測(cè)試儀加配四探針測(cè)試臺(tái)和四探針探頭，可以變成四探針測(cè)試儀使用,一臺(tái)儀器主機(jī)同時(shí)實(shí)現(xiàn)二探針和四探針測(cè)試方法。
    儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
       

    RTS-7型二探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。    

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技　術(shù)　指　標(biāo) ：    

 測(cè)量范圍

    電阻率：0.00001～100000Ω.cm；    

恒流源

    電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；    

二探針探頭基本指標(biāo)

    間距：1.59mm（可按用戶測(cè)試需求選配其它間距二探針探頭）；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.2%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.86mm；
 探針壓力：3±1N/單針；    

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

     0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字    

二探針測(cè)試架
（選配）

    配置T-2A測(cè)試架，兩端電極直徑20mm，最大長(zhǎng)度300mm。
 配置T-2B測(cè)試架，兩端電極直徑50mm，最大長(zhǎng)度300mm。
 (備注：其它尺寸測(cè)試架 可按用戶測(cè)試需求更改尺寸)。    

四探針測(cè)試臺(tái)和四探針探頭
（選配）

   此二探針測(cè)試儀主機(jī)的設(shè)計(jì)可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)四探針測(cè)試方法，一機(jī)雙用。二探針測(cè)試儀加配四探針測(cè)試臺(tái)和四探針探頭，可以變成四探針測(cè)試儀使用,一臺(tái)儀器主機(jī)同時(shí)實(shí)現(xiàn)二探針和四探針測(cè)試方法。    

測(cè)試模式

    可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試    

軟件功能
（選配）

   軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化。并將測(cè)試數(shù)據(jù)生成縱向分布圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。    

計(jì)算機(jī)通訊接口

    并口    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65%； 無(wú)高頻干擾； 無(wú)強(qiáng)光直射；