2025-02-17
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- 產(chǎn) 地：
- 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào) 半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
- 所在地區(qū)：
- 江蘇蘇州市
MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無(wú)需預(yù)熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
氣體種類(lèi) Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測(cè)量和控制范圍 0.2%-1 00%F.S. （1:500）
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線(xiàn)性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms
控制響應(yīng)時(shí)間 300ms
預(yù)熱時(shí)間 ≤1s
閥門(mén) 常閉式
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蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司
- 類(lèi)型：
- 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 聯(lián) 系 人：
- 付毓敏
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