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MFC300-熱式質量流量計廠家

2025-02-20

產(chǎn)      地:
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導體智能制造創(chuàng)新港
所在地區(qū):
江蘇蘇州市
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熱式質量流量計廠家MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點

熱式質量流量計廠家

產(chǎn)品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

主要參數(shù)

介質要求  潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類   Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測量和控制范圍   0.2%-100%F.S. (1:500)

準確度  ±0.5%F.S.

重復精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應時間  5ms

控制響應時間  300ms

預熱時間  ≤1s

閥門  常閉式   熱式質量流量計廠家

     蘇州愛拓利是國內極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業(yè)。其產(chǎn)品的核心部件毛細管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實現(xiàn)國產(chǎn)化、自研自制率100%、全制程自主可控,其性能趕超進口同類產(chǎn)品。愛拓利目前已為多家重點大學實驗室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設備及光電設備廠商提供流量計/控制器的軟硬件配套產(chǎn)品。通過廣泛的應用,愛拓利流量計產(chǎn)品的先進性、重復性和穩(wěn)定性得到了充分的驗證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識產(chǎn)權、純國產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā),以期打破進口產(chǎn)品的技術壟斷,擺脫對進口品牌的依賴,大力提升先進制程和科學儀器中國產(chǎn)化替代水平和應用規(guī)模,致力于早日打造出高品質且性能可靠的流體測控產(chǎn)品,為解決我國基礎科學及先進制程領域所面臨的“卡脖子”困境貢獻一份綿薄之力。




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