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高精度氣體流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時間<3 秒
預(yù)熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
MFC330氣體流量計廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造：用于控制工藝氣體（如氮氣、氬氣、氫氣）的流量。
光伏產(chǎn)業(yè)：在薄膜太陽能電池制造中，精確控制氣體流量。
化工行業(yè)：用于反應(yīng)氣體流量控制，確保反應(yīng)過程穩(wěn)定。
生物制藥：在發(fā)酵、細(xì)胞培養(yǎng)等過程中，控制氧氣、二氧化碳等氣體流量。
環(huán)境監(jiān)測：用于氣體采樣和分析系統(tǒng)，確保采樣流量準(zhǔn)確。
實驗室研究：在科研實驗中，精確控制氣體流量。
食品和飲料行業(yè)：用于氣體混合和包裝過程中的流量控制。
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