4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
- 公司名稱 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2016/4/12 10:03:05
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產(chǎn)品型號(hào) | 4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | 1、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 2、輝光放電等離子體中電子密度可達(dá)109-1012cm3。 3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。 4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì),可準(zhǔn)確地控制氣體流量。 5、一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。 6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分,可手動(dòng)控制混合氣體的輸入。 7、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源:AC220V 4KW 2、爐管:Φ50mm,Φ60mm,Φ80mm都可用 3、溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 4、加熱區(qū):440mm 5、恒溫區(qū):150mm |
等離子射頻電源 1、輸入功率:AC220V 1KW 2、輸出功率:50-500W可調(diào),±1% 3、RF頻率:13.56MHz可調(diào),±0.005%穩(wěn)定 4、噪聲:≤55DB 5、冷卻:風(fēng)冷 | |
真空泵和質(zhì)量流量計(jì) 1、真空度:10-3torr 2、波紋管:KF25系列 3、質(zhì)量流量計(jì):0-200,誤差0.02%,進(jìn)氣口采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm 重量:120kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空計(jì) |
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