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平行板電容式PECVD

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 沈陽
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/5/8 17:51:53
  • 訪問次數(shù) 1078
產(chǎn)品標簽

PECVD化學氣相沉積

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  沈陽科晶立足國內(nèi)市場實際情況,以提供Z為實用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎上,產(chǎn)品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。性價比不僅吸引了眾多國內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。

  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業(yè)實驗室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客參觀戶百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。

  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內(nèi)材料分析設備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。

 

我們擁有同類型中優(yōu)質(zhì)性價比的產(chǎn)品!                 

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歡迎來到沈陽科晶,我們是國內(nèi)實驗室樣品制備設備領(lǐng)域的專家!

 

 

 

 

 

 

 

 

切割機,金剛石線切割機,研磨拋光機,提拉涂膜機,旋轉(zhuǎn)涂膜機,真空鍍膜機,管式爐,箱式爐,電池實驗研究設備,清洗機

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領(lǐng)域 化工,電子

平行板電容式PECVD是一種用等離子體激活反應氣體,促進在基體表面或近表面空間進行化學反應,生成固態(tài)膜的技術(shù)。等離子體化學氣相沉積技術(shù)的基本原理是在高頻或直流電場作用下,源氣體電離形成等離子體,利用低溫等離子體作為能量源,通入適量的反應氣體,利用等離子體放電,使反應氣體激活并實現(xiàn)化學氣相沉積的技術(shù)。該系統(tǒng)為單室等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝研發(fā)設備,用于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。1、系統(tǒng)采用單筒式結(jié)構(gòu),手動前開門
2、高真空環(huán)境下進行沉積薄膜
3、不銹鋼腔體
4、樣品臺可轉(zhuǎn)動

產(chǎn)品名稱 平行板電容式PECVD
安裝條件 1、環(huán)境溫度:10℃~35℃
2、相對濕度:不大于75%
3、供電電源:220V、單相、50±0.5 Hz
4、設備功率:小于4KW  
5、供水:水壓0.2MPa~0.4MPa,水溫15℃~25℃,
6、設備周圍環(huán)境整潔,空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。
主要參數(shù) 1、系統(tǒng)采用單室筒式結(jié)構(gòu),手動前開門;
2、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空室尺寸為Φ300mm×300mm;
3、極限真空度:8.0x10-5 Pa
(經(jīng)烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用4L/S);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;
系統(tǒng)從大氣開始抽氣到8.0x10-4 Pa,40分鐘可達到; 停泵關(guān)機12小時后真空度:≤20 Pa;
4、采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進氣;
5、樣品最高加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用溫控表進行控溫;
6、噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距15-50mm在線連續(xù)可調(diào)(可根據(jù)工藝調(diào)整),并帶有標尺指數(shù)顯示;
7.、沉積工作真空:13.3-133Pa(可根據(jù)工藝調(diào)整);
8、射頻電源:頻率 13.56MHz,最大功率300W全自動匹配;
9、氣體種類(用戶自備),標準配置為2路100sccm質(zhì)量控制器,用戶可根據(jù)工藝更改氣路配置;
10、系統(tǒng)尾氣處理系統(tǒng)(用戶自備)。

 

 

 



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