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NIE-3500（M）IBE離子束刻蝕

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2023/11/13 10:42:11
  • 訪問次數(shù) 1591

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等）。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀，包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)（PTR）質(zhì)譜儀、電子轟擊電離（EI）質(zhì)譜儀等。





ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥

IBE離子束刻蝕

NIE-3500（M）IBE離子束刻蝕產(chǎn)品概述：該系統(tǒng)為計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設(shè)計易于維護、低成本的優(yōu)勢。所有核心組件均為。

NIE-3500（M）IBE離子束刻蝕產(chǎn)品特點：

  • 低成本
  • 離子束：高達2KV/10mA
  • 離子電流密度100-360uA/cm2
  • 離子束直徑：4",5",6"
  • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵
  • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
  • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(NIE-3500)
  • 自動上下載片（NIE-3500）
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 占地面積30"x30"

產(chǎn)品應(yīng)用：

  • 表面清洗
  • 表面處理
  • 離子銑
  • 帶活性氣體的離子束刻蝕
  • 光柵刻蝕
  • SiO2，Si和金屬的深槽刻蝕

 



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