NIM-4000（M）離子銑刻蝕系統(tǒng)

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產(chǎn)品標簽

離子銑系統(tǒng)NIE-4000離子銑 IBM離子銑系統(tǒng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。

那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等）。

那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀，包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）、質(zhì)子轉移反應（PTR）質(zhì)譜儀、電子轟擊電離（EI）質(zhì)譜儀等。

展開

ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）

產(chǎn)地類別	進口	應用領域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥

IBM離子銑

NIM-4000（M）離子銑刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)品概述：利用離子束轟擊固體表面的濺射作用，剝離加工各種幾何圖形，通過大面積離子源產(chǎn)生的離子束，可對固體材料濺射刻蝕，對固體器件進行微細加工。該系統(tǒng)為全自動上下載片，計算機全自動控制的系統(tǒng)。

NANO-MASTER技術已經(jīng)證明了可以把基片溫度控制在50° C以內(nèi)的同時，旋轉晶圓片以達到想要的均勻度。

NIM-4000（M）離子銑刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)品特點：