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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>化學(xué)機械拋光機(CMP)>Rpo-6型 化學(xué)機械拋光機

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Rpo-6型 化學(xué)機械拋光機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京中精儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Rpo-6型
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/11/28 14:35:08
  • 訪問次數(shù) 9145

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北京中精儀科技有限公司是一家致力于提供先進的科研生產(chǎn)測試儀器及相關(guān)技術(shù)咨詢服務(wù)的科技企業(yè), 公司由來自美國的相關(guān)領(lǐng)域資深專家成立, 公司總部設(shè)在美國加州硅谷地區(qū)。

公司多年來秉承著“精益求精”的經(jīng)營理念,為中國高等院校、科研機構(gòu)、生產(chǎn)企業(yè)配備了大量先進的專業(yè)儀器。提供了高水平、專業(yè)化的技術(shù)產(chǎn)品及高質(zhì)量的售后服務(wù)。

公司銷售的產(chǎn)品涉及到:

(1)材料力學(xué)試驗機:摩擦磨損試驗機,耐磨試驗機,真空試驗機,電化學(xué)腐蝕試驗機,疲勞試驗機,彎曲扭轉(zhuǎn)試驗機,微納劃痕儀、壓痕儀,高溫微米壓痕儀等。

 

(2)材料表面分析 :三維形貌儀,白光干涉儀,激光共聚焦顯微鏡,原子力顯微鏡等。

(3)半導(dǎo)體設(shè)備/CMP :原子層沉積系統(tǒng)(ALD),MBE分子束外延系統(tǒng),激光脈沖沉積(PLD),物理氣相沉積系統(tǒng)(PVD),化學(xué)機械拋光設(shè)備(CMP)等。

(4)生化儀器:激光拉曼光譜儀等

(5)扭矩測試:多功能扭矩測試儀,電機扭矩測試儀,軸承扭矩測試儀等。

多功能摩擦磨損試驗機,形貌儀,輪廓儀,摩擦儀,

  Rpo-6型化學(xué)機械拋光機主要特點
  技術(shù)
  化學(xué)機械拋光(CMP)是用來對正在加工中的晶片或其他物料進行平坦化處理的過程,而拋光技術(shù)則是利用了物理和化學(xué)的協(xié)同作用對晶片進行的拋光,通過給儲存在拋光片里樣本的底座一個加載力而完成的,當(dāng)包含了研磨劑和活性化學(xué)劑兩種成分的拋光液通過底部時,拋光墊和樣本開始計數(shù)旋轉(zhuǎn)。
  原位摩擦
  該儀器通過測量原位摩擦和磨損程度來研究基本的拋光技術(shù),而摩擦的變化則可用來描述移除率的近似值。
  原位墊片磨損
  原位磨損率則可用來反應(yīng)在拋光,調(diào)節(jié)等情況下墊片的狀態(tài)。
  狀態(tài)
  原位和非原位調(diào)節(jié)
  晶片尺寸
  易于替換的晶片夾具可在同一測試儀上進行拋光樣品的尺寸由1英寸至6英寸。
  泵
  獨立的可編程泵可提供泥漿,水以及其他的化工產(chǎn)品。
  消耗品和相關(guān)咨詢
  我們所提供的標(biāo)準(zhǔn)拋光材料里包含的不僅僅是儀器還有一系列的消耗品(拋光液、拋光墊等),與此同時,我們科學(xué)團隊也會為您提供有關(guān)工藝流程開發(fā)和優(yōu)化的咨詢服務(wù)。
  Rpo-6型化學(xué)機械拋光機規(guī)格
  人工晶片裝載
  臺式CMP研發(fā)系統(tǒng)
  原位和非原位調(diào)節(jié)
  使用可編程泵的泥漿和水管
  高硬度和良好的力控制
  340mm的滾筒直徑
  6英寸的樣本
  原位摩擦和墊片磨損選
  打印尺寸 w870x,d800x,h870mm
  應(yīng)用程序—CMP,MEMS,消耗品測試
  應(yīng)用
  拋光
  工藝開發(fā)
  環(huán)境開發(fā)
  拋光液開發(fā)
  拋光墊表征
  粒子開發(fā)


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