多種型號 韓國APP低溫1大氣寬幅等離子清洗機

上海鳴旭電子科技為韓國APP正規(guī)代理商。等離子體處理作為一種新型的表面處理技術(shù)（plasma treatment / plasma cleaner / 等離子清洗),近幾年來隨著各行各業(yè)應(yīng)用的不斷深入，已逐漸被公眾所熟知。然而，等離子技術(shù)本身并非一概而論，大同小異。在不同的國家，不同的廠家之間，各自發(fā)展出了不同類型，不同功用的等離子體技術(shù)。我司提供的大氣壓輝光等離子設(shè)備，不同于其它的等離子技設(shè)備，因其*的技術(shù)特點，在zui近五年內(nèi)業(yè)已成為行業(yè)新的發(fā)展方向。

1.大氣壓輝光等離子設(shè)備的特點

　　1.corona plasma、glow plasmaandarc plasma

按照等離子的產(chǎn)生原理來區(qū)分，現(xiàn)在等離子技術(shù)可以分為corona（科羅娜）、glow（輝光）、arc （電弧）plasma三種類型。對于不同的類型，均發(fā)展出相關(guān)的應(yīng)用。

為了對上述三種等離子類型有一個更直觀的認(rèn)知，我們通常采用直流電源作為激發(fā)能源構(gòu)建等離子模型。不同的等離子技術(shù)專家與科研機構(gòu)所構(gòu)建擔(dān)型大同小異。在此，我們以美國普林斯頓等離子物理實驗室擔(dān)型（Structure of a Glow Discharge）作為參考。如右圖所示，X坐標(biāo)軸表示電流值，Y坐標(biāo)軸表示電壓值。等離子是隨著電壓與電流的增加而產(chǎn)生并變換狀態(tài)與特性。

圖中豎線將plasma曲線主要分為三段，從左至右依次是coronaplasma,glow plasma,,arc plasma.

1.1 Corona 等離子，也稱電漿。

　　通常采用空氣或者氮氣（N2)作為發(fā)生氣體。特點是氣體的需求量非常高，使用氮氣時一般需要配備專門的大功率氮氣發(fā)生器，工業(yè)上常用RF射頻作為激發(fā)能源，頻率在40KHZ左右。等離子工作形態(tài)以炬式較為常見（產(chǎn)品如右圖），條狀放電模式使得表面處理后均勻性不高。設(shè)備工作過程中會產(chǎn)生超標(biāo)的臭氧與氮氧化物等對人體有害的氣體，必須要配套氣體吸出系統(tǒng)一同工作。因為上述特性，Corona 等離子主要適用于對處理效果要求不高，并且后續(xù)運行成本低的行業(yè)（可使用空氣），比如紡織業(yè)等。

　　1.2 Glow 等離子。

　　主要分為兩種方式，即腔式與大氣壓式，此兩種等離子技術(shù)均為直接式等離子。

　　腔式Glow等離子的特點是需要一個封閉的腔體，電極內(nèi)置于真空腔體中，工作時首先用真空泵將腔體內(nèi)空氣吸出形成類真空環(huán)境，然后等離子在整個腔體中形成并直接對在內(nèi)的材料進(jìn)行表面處理。此種腔式等離子的處理效果要優(yōu)于corona 等離子。后續(xù)運行成本較高，主要原因是其真空泵連續(xù)工作的功耗較大。另外每次工作時真空環(huán)境制造過程需要的時間較多，對采用自動化生產(chǎn)線及要求處理效率的工業(yè)領(lǐng)域來說，局限性較明顯。

　　另一種大氣壓Glow(輝光）式等離子技術(shù),即我司提供之設(shè)備,是以RF射頻作為激發(fā)能源，工作頻率是13.56MHZ。采用氬氣(Ar)作為發(fā)生氣體，氧氣或者氮氣作為反應(yīng)氣體。該技術(shù)的特點是：

　　1. 均勻度高。大氣壓等離子是輝光式的等離子幕，直接作用于材料表面，實驗證明，同一材料不同位置的處理均勻性很高，這一特性對于工業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行下一環(huán)節(jié)的邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。

　　2. 效果可控。大氣壓等離子有三種效果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣組合，主要面向非金屬材料并且要求較高的處理效果時采用。二是選用 氬氣/氮氣 組合，主要面向待處理產(chǎn)品有不能被處理的金屬區(qū)域，因氧氣的強氧化作用，替換為此方案中的氮氣后，該問題可以加以控制。三是只采用氬氣的情況，只采用氬氣也可以實現(xiàn)表面改性，但是效果相對較低。此種情況較特殊，是少數(shù)工業(yè)客戶需要有限度的同時均勻的表面改性時采用的方案。

　　3. 安全易用。大氣壓式等離子，也是低溫等離子，不會對材料表面造成損傷。無電弧，無需真空腔體，也無需有害氣體吸出系統(tǒng)，長時間使用并不會對操作人員造成身體損害。

　　4. 面積寬大。大氣壓等離子zui大可以處理2m寬的材料，可以滿足現(xiàn)有多數(shù)工業(yè)材料的表面處理需求。

　　5. 成本低廉。大氣壓等離子設(shè)備功耗低，運行成本以氣體為主。以主要消耗氣體氬氣為例，同corona等離子氣體消耗量相比不足其1/20.

　　1.3 Arc等離子

　　Arc等離子技術(shù)通常應(yīng)用于等離子切割機，主要是金屬的切割?？梢源钆涞墓ぷ鳉怏w種類較多，如氬、氧、氮、、氫、水蒸氣、空氣、混合氣體等。其等離子電弧的溫度可以高達(dá)15000°~30000°。 等離子弧切割是利用極細(xì)、高溫、高速的等離子電弧的熱量來熔化進(jìn)而切割金屬器件，特點是切割快速，熱影響區(qū)小，切割面平滑。

2.我司大氣壓輝光等離子技術(shù)的應(yīng)用

　　2.1處理對象

　　(1)非金屬材料，各種PET,PMMA,ITOfilm,Ceramic,Glass,Polymer等

　　(2)金屬材料，各種金屬線纜,PCB,FPCB,Leadframe等。

　　2.2應(yīng)用領(lǐng)域

　　(1)LCD

　　(2)LED/OLED

　　(3)TSP

　　(4)Solar Cell

　　(5)Semiconductor

　　(6)Optics

　　(7)Medical

3.等離子處理效果檢測手段

　　3.1水滴接觸角測試

　　水滴接觸角測試，是指使用等離子清洗機處理材料前、后分別向表面滴水，并用專門的接觸角測試儀測量前后變化，從而量化表面能量變化與潔凈效果的一種常規(guī)測試手段。以普通的銅基板為例，處理前后的接觸角分別為103°/40°（數(shù)據(jù)僅供參考）。

　　3.2 Dyne test pen 測試

　　達(dá)因筆常用來測試表面張力，配套多種表面能級的測試墨水。測試方法：假設(shè)測試筆數(shù)值60dyn/cm，用筆尖在材料表面輕輕劃上一長橫，如果停留在材料料表面超過2秒鐘仍沒有水珠形成或向四周擴展，表示材料的表面張力達(dá)到或超過60dyn/cm。

4.疏水性等離子表面處理技術(shù)

除了常規(guī)的親水性等離子清洗技術(shù)，我司還有另一個方向的疏水性等離子表面處理技術(shù)。疏水性表面處理的技術(shù)，除了氬氣之外，還需采用一些碳氟化物等特殊氣體作為工作氣體，在材料的表面進(jìn)行納米涂膜，從而改變材料表面的成份與特性.