JGP-800型磁控濺射鍍膜設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2019/5/23 17:52:46
- 訪問(wèn)次數(shù) 474
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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設(shè)備用途
該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED和光伏等行業(yè)，主要用于各種金屬、半導(dǎo)體及介質(zhì)材料的薄膜制備，可滿足科研兼小批量生產(chǎn)需要。
設(shè)備組成
JGP-800型磁控濺射鍍膜設(shè)備該系統(tǒng)為單腔室結(jié)構(gòu)，主要由濺射真空室、磁控濺射靶、離子轟擊、公轉(zhuǎn)基片臺(tái)、光加熱系統(tǒng)、濺射電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量、水冷卻及報(bào)警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。
JGP-800型磁控濺射鍍膜設(shè)備系統(tǒng)由工控機(jī)和PLC實(shí)現(xiàn)控制，有自動(dòng)和手動(dòng)控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過(guò)程全部在觸摸屏上實(shí)現(xiàn)；提供真空系統(tǒng)、濺射工藝設(shè)置、充放氣系統(tǒng)等人機(jī)操作界面；在工控機(jī)上可通過(guò)配方設(shè)置參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)程序工藝過(guò)程和設(shè)備參數(shù)的設(shè)置。
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