OLS5000 激光共聚焦顯微鏡

激光共聚焦顯微鏡OLS5000可觀察納米范圍的臺階，并可測量亞微米級別的高度差。還可以測量從線到面的表面粗糙度。配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000的關(guān)鍵

捕捉任意表面形狀。

快速獲得可靠數(shù)據(jù)。

使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。

測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。

價(jià)值1：捕捉任意表面形狀。 

OLS5000顯微鏡使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。

價(jià)值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)

 該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡化您的工作流程，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

價(jià)值3、使用簡單，只需放置樣品并按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。

價(jià)值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備?？梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時(shí)，您只需將樣品放在載物臺上即可。

獲取彩色信息
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

納米激光光源

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得橫向分辨率。

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

X-Y掃描儀

OLS5000顯微鏡配有光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

高度測量原理

在測量高度時(shí)，顯微鏡通過自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測光強(qiáng)度（I）可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴(kuò)展圖像）。