PZ-Mico D 納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量
參考價 | ¥ 580000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PZ-Mico D
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/25 18:33:13
- 訪問次數(shù) 680
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車 |
納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù),適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。
納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量技術(shù)參數(shù):
型號:PZ-Mico D
測試技術(shù): 3D相干掃描干涉法,抗震算法,移相干涉法
光源:固態(tài)白光光源,軟件控制切換光譜(VSI和PSI)
掃描裝置:精密壓電陶瓷驅(qū)動,閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷
像素分辨率:1280X1024
視場: 10倍范圍1200X950
縱向掃描范圍:25mm
橫向分辨率:0.05-2.68µm
軸向分辨率:VSI:0.5nmPSI:0.1nm
臺階高度精度(示值誤差)±0.1nm(5µm標準臺階)
臺階高度重復(fù)性:0 . 1%1σ(5µm標準臺階
粗糙度 RMS 2
粗糙度RMS重復(fù)性:0.01nm
被測樣品反射率:0.05%-100%
Z軸:電動Z平臺100mm,1μm分辨率)
位移臺:電控平臺移動范圍XY:100x100mm
產(chǎn)品細節(jié)
應(yīng)用范圍