KW-5 中科院微電子研究所KW-5型勻膠機/旋涂儀
參考價 | ¥ 9900 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 北京通世華港設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 KW-5
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2023/11/12 13:02:20
- 訪問次數(shù) 4371
聯(lián)系方式:郭經(jīng)理17611117185 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,航天 |
中國科學院微電子研究所生產(chǎn)的KW-4A/KW-5型勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點,并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
技術(shù)參數(shù)及要求:變頻調(diào)速
基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
轉(zhuǎn)速:500-5000 轉(zhuǎn)/分
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%
旋涂均勻性:±5%
旋涂工藝階段:2 段
旋涂時間:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
整機尺寸(長寬高):425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸(長寬高):425mm×500mm×190mm
電機功率:180W
適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料