化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>行業(yè)專用儀器及設(shè)備>其它行業(yè)專用儀器>其它專用儀器>GEMINI Wafer Bonding Automated Production Wafer Bonding
GEMINI Wafer Bonding Automated Production Wafer Bonding
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 GEMINI Wafer Bonding
- 產(chǎn)地 奧地利
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 16:33:15
- 訪問次數(shù) 808
聯(lián)系方式:紹兵18263262536 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
---|
GEMINI Automated Production Wafer Bonding System
GEMINI 自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)
集成的模塊化大批量生產(chǎn)系統(tǒng),用于對準(zhǔn)晶圓鍵合
GEMINI自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)zui高水平的自動化和過程集成。批量生產(chǎn)的晶圓對晶圓對準(zhǔn)和zui大200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執(zhí)行。器件制造商受益于產(chǎn)量增加,集成度高以及陽極,硅熔融,熱壓和共晶鍵合等多種鍵合工藝方法。
特征
全自動集成平臺,用于晶圓對晶圓對準(zhǔn)和晶圓鍵合
底部,IR或SmartView對齊的配置選項(xiàng)
多個粘接室
晶圓處理系統(tǒng)與鍵卡盤處理系統(tǒng)分開
帶有交換模塊的模塊化設(shè)計(jì)
結(jié)合了EVG精密對準(zhǔn)儀和EVG 500系列系統(tǒng)的所有優(yōu)勢
與獨(dú)立系統(tǒng)相比,占用空間zui小
可選的過程模塊:
LowTemp™等離子活化
晶圓清洗
外套模塊
紫外線粘合模塊
烘烤/冷卻模塊
對齊驗(yàn)證模塊
技術(shù)數(shù)據(jù)
zui大加熱器尺寸:150、200、300毫米
裝載室5
軸機(jī)器人
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- EVG 510 Wafer Bonding 晶圓鍵合機(jī)
- Automated Bond Alignment EVG 6200 BA自動鍵對準(zhǔn)系統(tǒng)
- EVG Bond Alignment EVG 620BA 自動鍵對準(zhǔn)系統(tǒng)
- EVG Bond Alignment EVG 610BA 鍵對準(zhǔn)系統(tǒng)
- EVG®320 D2W EVG320 D2W 混合鍵合面激活和清潔系統(tǒng)
- EVG 540 Bonding EVG 540 自動晶圓鍵合
- EVG 520 IS Bonding EVG 520IS晶圓鍵合
- EVG 510 Wafer Bonding EVG 510晶圓鍵合系統(tǒng)