GSL-CKJS-450-B1 磁控濺射儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海添時科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 GSL-CKJS-450-B1
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/8/19 15:02:26
- 訪問次數(shù) 3966
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
磁控濺射儀主要特點:
1、真空度高。
2、可制備多種薄膜,金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
4、清理安裝便捷。
5、控制可選一體化觸摸屏控制
技術(shù)參數(shù):
1、真空度高。
2、可制備多種薄膜,金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
4、清理安裝便捷。
5、控制可選一體化觸摸屏控制
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | GSL-CKJS-450-B1磁控濺射儀 | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用. | |
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) | ||
2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地 | ||
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氮/氬氣(純度99.99%以上),需自備實驗氣體氣瓶(自帶Ø10mm雙卡套接頭)及減壓閥 | ||
4、場地:設(shè)備尺寸3500×1600mm,承重1000kg以上 | ||
5、通風裝置:需要 | ||
主要參數(shù) | 1、主濺射室尺寸:Ø450×355mm筒形真空室 | |
2、主濺射室真空度:5×10-5Pa | ||
3、永磁靶3套,靶材尺寸φ2″,各靶射頻與直流濺射兼容(其中1個靶可濺射鐵磁材料),靶與樣品距離90-110mm可調(diào) | ||
4、三靶共濺,三個靶可共同折向樣品中心,距離40-80mm可調(diào) | ||
5、基片加熱與水冷獨立工作,加熱爐可與水冷樣品臺可互換,加熱工位最高溫度600℃±1℃ | ||
6、樣品尺寸:φ1″ | ||
7、樣品臺可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5-15轉(zhuǎn)/分 | ||
8、基片可加-200V負偏壓 | ||
9、公轉(zhuǎn)6工位樣品臺,可一次性安裝6片φ1″基片 | ||
拆下水冷加熱樣品臺可換上6工位樣品臺,其中5個工位為自然冷卻工位,1個加熱工位,加熱工位溫度600℃±1℃ | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 整機尺寸:1500×900mm×2000mm; | |
標準配件 | 1、電源控制系統(tǒng)1套 | |
2、真空獲得系統(tǒng)1套 | ||
3、真空測量裝置1套 |