VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) VTC-600-3HD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/12/4 10:34:13
- 訪問(wèn)次數(shù) 2643
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紫外可見分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
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三靶磁控濺射儀主要特點(diǎn):
1、配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換)。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。
4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。
5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍,也可多個(gè)電源單一控制靶槍。
技術(shù)參數(shù):
1、配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換)。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。
4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。
5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍,也可多個(gè)電源單一控制靶槍。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | VTC-600-3HD雙靶磁控濺射儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-600-3HD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥 4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要參數(shù) | 1、電源電壓:220V 50Hz 2、總功率:<2.5KW 3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar) 4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度) 5、靶槍數(shù)量:3個(gè) 6、靶槍冷卻方式:水冷 7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 8、直流濺射功率:500W(可選) 9、射頻濺射功率:300W/500W(可選) 10、載樣臺(tái):Ø140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。 11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 12、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體 13、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 主機(jī)尺寸:500mm×560mm×660mm, | |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1直流電源控制系統(tǒng)2套 2射頻電源控制系統(tǒng)1套 3膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)1套 4分子泵(德國(guó)進(jìn)口)1臺(tái) 5冷水機(jī)1臺(tái) 6冷卻水管(Ø6mm)4根 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |