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VGB-600-3HD 薄膜電池制備系統(tǒng)

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磁控濺射磁控濺射儀

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司是一家代理國(guó)內(nèi)外儀器的經(jīng)銷(xiāo)及技術(shù)服務(wù)的專(zhuān)業(yè)公司。國(guó)內(nèi)管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應(yīng)熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機(jī),電池測(cè)試恒溫箱,金剛石線(xiàn)切割機(jī),磁控濺射儀,蒸發(fā)鍍膜,PECVD設(shè)備供應(yīng)商!

公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專(zhuān)院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。

主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測(cè)試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量?jī)x表,行業(yè)專(zhuān)用儀器,藥物檢測(cè)儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭?jī)x器,測(cè)繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動(dòng)化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無(wú)線(xiàn)電儀器,小型機(jī)械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室科研儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室耗材與試劑、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽(yù)”贏得各地市場(chǎng),各個(gè)領(lǐng)域的好評(píng)和歡迎。

未來(lái),公司將引進(jìn)和代理更多國(guó)內(nèi)產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿(mǎn)足市場(chǎng)不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運(yùn)營(yíng),樸素而先進(jìn)的管理理念,為客戶(hù)提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!

公司宗旨:客戶(hù)至上 誠(chéng)信為本 開(kāi)拓創(chuàng)新 成就*




紫外可見(jiàn)分光光度計(jì),原子熒光光度計(jì),原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點(diǎn)儀

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子

主要特點(diǎn):

1、配置三個(gè)靶槍?zhuān)粋€(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類(lèi)靶材的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶(hù)需要任何調(diào)換)。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。
4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際需要調(diào)整。
5、可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍?zhuān)部啥鄠€(gè)電源單一控制靶槍?zhuān)ㄟx配)。
6、可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,更換各類(lèi)易氧化的靶材用于鍍膜實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱(chēng)VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)
VGB-600-3HD
主要參數(shù)
三靶磁控濺射部分
1、電源電壓:220V  50Hz
2、總功率:2.5KW
3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司機(jī)械泵設(shè)備使用可達(dá)到 E-3mbar)
4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)
5、靶槍數(shù)量:3個(gè)
6、靶槍冷卻方式:水冷
7、靶材尺寸:?2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
8、濺射電源功率:300W(射頻)/500W(直流)
9、載樣臺(tái):?140mm
10、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
11、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體
12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM
手套箱部分
1、電源:?jiǎn)蜗郃C110V-220V  50Hz/60Hz
2、殼體材料:304不銹鋼
3、手套箱腔體:1220mm×760mm×900mm
4、前級(jí)室:設(shè)有2個(gè)前級(jí)室,大前級(jí)室?360mm×600mm,小前級(jí)室?150mm×300mm
5、腔體環(huán)境:水含量<1ppm(20℃,1atm),氧含量<1ppm(20℃,1atm)
6、工作氣體:N2、Ar、He等惰性氣體
7、控制氣體:壓縮空氣或惰性氣體
8、還原氣體:工作氣體和H2的混合氣(如果凈化系統(tǒng)只有除水功能,還原氣體與工作氣體相同)

9、氣體凈化系統(tǒng):

德國(guó)BASF除氧材料、美國(guó)UOP高效吸水材料,凈化系統(tǒng)再生過(guò)程自動(dòng)控制,自動(dòng)除水、 除氧功能,

可長(zhǎng)期、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm

10、壓力控制系統(tǒng):腔體氣壓可通過(guò)PLC觸摸屏自動(dòng)控制,控制精度為±1Pa,也可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制
11、過(guò)濾系統(tǒng):進(jìn)、出氣端都裝有過(guò)濾器,過(guò)濾精度為0.3μm
12、控制系統(tǒng):SIEMENS彩色觸摸屏(6寸),PLC控制系統(tǒng),中英文雙語(yǔ)可切換;
水探頭采用美國(guó)GE品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm;
氧變送器采用美國(guó)AII品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm;
壓力傳感儀采用美國(guó)setra品牌,-2500-2500Pa觸摸屏顯示,精度±1Pa;
13、真空泵:采用英國(guó)EDWARDS品牌,抽速8.4m3/h-12m3/h
14、手套:美國(guó)NORTH品牌丁基合成橡膠
15、照明系統(tǒng):飛利浦品牌熒光燈管
產(chǎn)品規(guī)格

三靶磁控濺射部分:950mm×460mm×810mm
手套箱部分:2300mm×1500mm×1900mm


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