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ELS-F125/F100/HS50 電子束曝光系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 ELS-F125/F100/HS50
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/6/17 18:01:53
  • 訪問次數(shù) 2241
產(chǎn)品標簽

電子束曝光電子束直寫

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上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER)，在掃描探針顯微鏡(SPM)領域有多年的實踐經(jīng)驗，擁有一支成熟的銷售、技術團隊，迄今已累計銷售超過100臺(套)儀器。



掃描探針顯微鏡光學顯微鏡納米光學輪廓儀教學型凝固點測定儀日本原裝桌面式隔振平臺

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 化工,電子,電氣,綜合

電子束曝光系統(tǒng)ELS-F125具有以下優(yōu)點：

l  超高書寫精度

- 5 nm 線寬精度 @125 kV

- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應小化 @125 kV

 

l  大通量、均勻性好

- 寬視野書寫:500um視場下10 nm線寬

- 高束流下電子束直徑依然很小，大通量而不影響分辨率，2 nm電子束直徑@1 nA

 

l  界面用戶友好

基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:

-簡單易用的圖案設計功能

-易于控制的電子束條件

 

二、電子束曝光系統(tǒng)主要功能：

l  主要應用

納米器件的微結構

集成光學器件，如光柵，光子晶體等

NEMS結構，復雜精細結構

光刻掩模板，壓印模板

l  技術能力

   

 

三、應用：

   

   


 

 

 



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