PICOSUN™ R-200高級(jí)型

PICOSUN™ R-200高級(jí)型ALD系統(tǒng)是ALD科研設(shè)備市場(chǎng)， 在全球擁有百用戶。它已經(jīng)成為一些創(chuàng)新公司和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā) 工具。

PICOSUN™ R-200高級(jí)型靈活的設(shè)計(jì)確保沉積高質(zhì)量的ALD薄膜，超靈活的系統(tǒng)配置也能滿足用戶未來(lái)的需求和應(yīng)用。的熱壁設(shè)計(jì)、*獨(dú)立的前驅(qū)體管 路和特殊的載氣設(shè)計(jì)， 使得無(wú)顆粒沉積廣泛  應(yīng)用于平面晶圓、 3D基片和所有納米尺度的  材料。即使在具挑戰(zhàn)性的多孔材料、超高深 寬比和納米顆粒表面沉積， 系統(tǒng)都能實(shí)現(xiàn)好的均勻性， 這些都?xì)w功于我們的技術(shù)  Picoflow™。Picosun™R-200高級(jí)型系統(tǒng)配備功 能強(qiáng)大和易于更換的液體、氣體和固體前驅(qū)體源。高效率和擁有的遠(yuǎn)程等離子選項(xiàng)  可以沉積金屬而不發(fā)生短路，不存在等離子  體損壞的危險(xiǎn)。系統(tǒng)可集成手套箱， 超高真空 系統(tǒng)、手動(dòng)或半自動(dòng)加載系統(tǒng)， 集群系統(tǒng)， 粉末反應(yīng)腔， 卷對(duì)卷反應(yīng)腔和各種在線分析系統(tǒng)， 使您的研究變得高效和靈活。 即使將來(lái)您改變研究領(lǐng)域， 它依舊會(huì)是幫手！

技術(shù)參數(shù)：

襯底尺寸和類型

•    50-200 mm/片

•    156 mm x 156 mm 太陽(yáng)能硅片

•    3D 復(fù)雜表面襯底

•    粉末與顆粒

•    小批量

•    多孔， 通孔， 高深寬比（HAR）樣品 （最高可達(dá) 1:2500）

工藝溫度

•    50 – 500 °C ，等離子450°C (650 °C加熱盤可定制)

沉積材料

•    Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2, AlN, TiN, 以及金屬Pt 或者 Ir

基片加載

•    氣動(dòng)升降， 手動(dòng)裝載

•    預(yù)真空室安裝磁力操作機(jī)械手（Load lock）

•    半自動(dòng)機(jī)械裝置

•    集群系統(tǒng)的批量裝載（Cassette-to-cassette）

前驅(qū)體

•    液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體

•    6根獨(dú)立源管線， 最多加載12個(gè)前驅(qū)體源（加 上 Plasma管路， 共7根獨(dú)立源管線）

選件

•    集群工具， PICOFLOW™擴(kuò)散增強(qiáng)器， roll-to-   roll腔室、超高真空兼容、 RGA、N2發(fā)生器、尾 氣處理器、定制設(shè)計(jì)， 手套箱集成（用于惰性 氣體下裝載）