化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備>KINO LOADER wafer loader
KINO LOADER wafer loader
- 公司名稱 迪合光電科技(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 KINO LOADER
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2023/2/23 11:29:35
- 訪問次數(shù) 1612
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
晶圓檢測系統(tǒng)結(jié)合了德國Leica公司的光學(xué)顯微鏡,解決了半導(dǎo)體客戶對8英寸及以下尺寸晶圓、第1/2/3代半導(dǎo)體材料晶圓傳送和光學(xué)檢測需求。該系統(tǒng)可以兼容第一~第三代材料,不透明材質(zhì)\半透明\全透明材質(zhì)的晶圓。該系統(tǒng)可以升級成為全自動檢測系統(tǒng)(可以選配AOI/AI智能檢測軟件),可以針對特殊工藝晶圓、特殊標(biāo)記Mark、雙平邊晶圓等進(jìn)行相應(yīng)的擴(kuò)展或者改造,可以選配SMIF系統(tǒng)、SECS/GEM。
本設(shè)備整體兼容6&8英寸晶圓,適用于硅片(不透明材質(zhì))、碳化硅及其它透明/半透明材質(zhì)晶圓片。設(shè)備可識別Flat\Notch,支持晶圓厚度范圍:8英寸300um~1000um / 6英寸200um~1000um。