OPTELICS AI 2 晶圓缺陷檢測儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海旭量光學技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 OPTELICS AI 2
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/5/2 12:11:39
- 訪問次數(shù) 481
產(chǎn)品標簽
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Lasertec已將OPTELICS AI 2商業(yè)化，這是一種新型共聚焦顯微鏡自動檢查/檢查系統(tǒng)，集成了高速自動缺陷檢查功能、缺陷映射功能和高倍率形狀檢查功能。
特征
從自動缺陷檢查到各種材料的半導體晶圓的高倍率檢查和形狀測量，一個單元即可處理所有事務。活躍于從研發(fā)到量產(chǎn)的各個階段
高速檢測：亞微米級靈敏度可在 15 分鐘內(nèi)完成 3 英寸晶圓的全面檢測
高倍率回顧：通過切換物鏡可以進行高倍率 3D 形狀測量
通過深度學習實現(xiàn)高精度的圖像分類?？梢赃M行圖案板檢查和特定缺陷類型的檢查
即使對于化合物半導體和薄膜等透明樣品，也可以在不受背反射影響的情況下進行檢查、高倍率檢查和形狀測量。
由于 Lasertec 提供從硬件到軟件的完整系統(tǒng)，因此可以根據(jù)客戶的要求定制和支持整個系統(tǒng)。
用法
各種材質(zhì)半導體晶圓的高速自動缺陷檢測
缺陷審查
缺陷形狀測量
每個制造過程中的缺陷跟蹤
規(guī)格
| 檢查時間（3"晶圓） | 15分鐘 |
|---|---|
| 檢查對象 | 各種晶圓（Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等）、玻璃基板、薄膜等 |
| 高速自動缺陷檢測 | 共焦光學與微分干涉干涉 |
| 高倍復習 | 共焦光學系統(tǒng) |
| 3D形狀測量 |
采購中心
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