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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>薄膜應(yīng)力測(cè)試儀> 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

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上海富瞻環(huán)保科技有限公司依托于上海交大、同濟(jì)大學(xué)等高校雄厚的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，公司集研發(fā)、創(chuàng)新于一體，專注于滿足客戶的各類特殊要求，一切以客戶為中心，經(jīng)過十余年艱苦卓絕的奮斗，現(xiàn)已經(jīng)成長(zhǎng)為一家科工貿(mào)一體的綜合儀器設(shè)備供應(yīng)商，正以積極進(jìn)取、昂揚(yáng)的步伐邁向新的長(zhǎng)征。


我們秉承“實(shí)誠(chéng)、坦誠(chéng)”的宗旨經(jīng)營(yíng)環(huán)保產(chǎn)業(yè)，專注于水質(zhì)分析儀、大氣環(huán)境污染物檢測(cè)、傳感器、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、過程儀器儀表等。同時(shí)擁有多個(gè)品牌授權(quán)合作資源，數(shù)千種進(jìn)口檢測(cè)儀器儀表產(chǎn)品及配件；產(chǎn)品類型涉及氣體分析儀及傳感器、水質(zhì)分析儀及電極、氣象、水文、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備及耗材試劑、核輻射、植物生態(tài)、土壤、勘測(cè)、計(jì)量測(cè)量、電工、無損、半導(dǎo)體儀器設(shè)備等。


在實(shí)驗(yàn)室分析儀器領(lǐng)域，富瞻環(huán)保與賽默飛(thermo fisher)，瑞士萬通(metrohm)，沃特世(waters)，安捷倫(Agilent)等公司合作，銷售代理品牌產(chǎn)品。同時(shí)，擁有多年實(shí)驗(yàn)室二手分析儀器設(shè)備國(guó)內(nèi)服務(wù)經(jīng)驗(yàn),國(guó)外穩(wěn)定采購(gòu)渠道，國(guó)內(nèi)翻新檢測(cè)出廠安裝調(diào)試，到后期維修維保及相關(guān)的技術(shù)支持，富瞻環(huán)保專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)努力為客戶創(chuàng)造更有性價(jià)比的解決方案。




水質(zhì)產(chǎn)品：
游動(dòng)電流儀、（鈣鎂）、堿度/總堿度、水中油、陰離子表面活性劑、酸度、堿度、硅離子、碘離子、草甘膦（農(nóng)藥）、污染指數(shù)等。
鐵離子、砷離子、六價(jià)鉻、銅離子、錳離子、 鉛離子、鋅離子、總鉻、鎳離子、汞離子、銀離子總鉻、硼、硅、鎘、亞鐵、鋁、鈉、錫、銻tī）、鋇（bèi）、鈹（pí）、鉀、鈷等。水質(zhì)生物毒性、大腸桿菌、活性氧等；
進(jìn)口品牌儀器（珀金埃爾默、賽默飛、島津、安捷倫、沃特世、AB、耶拿、日立等），主營(yíng)產(chǎn)品有氣相色譜、液相色譜、原子吸收光譜儀、紫外分光光度計(jì)、氣質(zhì)聯(lián)用儀、液質(zhì)聯(lián)用儀；

主要合作品牌產(chǎn)品有：
美國(guó)Decatur 電波流速儀
美國(guó)GW 多普勒流速水位傳感器
美國(guó)Global Water 直讀流速儀、水質(zhì)傳感器、氣象傳感器等
美國(guó)Speedtech 聲納測(cè)深儀
加拿大Labplas 無菌采樣袋
保加利亞Master 牛奶分析儀
保加利亞Lactoscan 乳品檢測(cè)儀、體細(xì)胞計(jì)數(shù)儀
歐洲Elmetron水質(zhì)檢測(cè)儀


水質(zhì)儀器合作品牌主要有：

哈希、哈納、百靈達(dá)、YSI、WTW、NADLER、 RG、德國(guó)bbe、E+H、中國(guó)臺(tái)灣LIC、德國(guó)NIVUS、日本HONDA、德國(guó)HEYL、德國(guó)Kuntze、美國(guó)HF Scientific、法國(guó)Tethys、美國(guó)SDI、美國(guó) Qcontums、意大利 3S、英國(guó)Trace2o、英國(guó)Modern Water、中國(guó)臺(tái)灣LIC

氣體檢測(cè)儀品牌主要有：
美國(guó) ATI  華瑞 美國(guó)2B BW 英思科 德爾格 霍尼韋爾 梅思安 TSI 英國(guó)離子  英國(guó)科爾康 德國(guó)豎威 德圖 菲索 法國(guó)菲爾德 新宇宙 理研 GrayWolf 德國(guó)尤尼


實(shí)驗(yàn)室分析器品牌主要有：

布魯克 奧林巴斯 PE 賽默飛 馬爾文 安捷倫 島津 艾默生 海默生 IKA 耶拿 沃特世 AB 日立 雅馬拓 梅特勒托利多 愛拓

傳感器品牌主要有：
離子 霍尼韋爾 CITY 阿爾法 貝斯蘭 費(fèi)加羅 SUSA 根本 DDS

實(shí)驗(yàn)室試劑耗材品牌：
3M     美國(guó)洛德     西門子PLC     德國(guó)西馬格
德國(guó)默克MERCK     色譜科SUPELCO     SIGMA-ALDRICH     默克密理博Millipore     普蘭德BRAND     德國(guó)VITLAB
弗霓 ForNeeds     NUNC MYRONL麥隆 VWR      BRANSON必信能      DWK Acros ARA       QSP Nalgene
ALfa     Aesar     FISHER     AMRESCO 麥克林 阿拉丁 TCI J.T.Baker ReagCon     壇墨TMRM     偉業(yè)計(jì)量
阿爾塔     美國(guó)AIRMETRICS 富勒姆FLOM HQI     密勒Myratex

1、nalgene：廣口瓶、窄口瓶、放水口大桶、PP桶
2、NUNC/ABgene：存儲(chǔ)板、深孔板、酶標(biāo)板、檢測(cè)板
3、Thermo移液器：F3移液器、F2移液器、F1移液器、novs電動(dòng)移液器、E1可調(diào)間距移液器
4、QSP：吸頭、加長(zhǎng)吸頭、帶濾芯吸頭、低吸附吸頭、可立樣品管
5、wheaton：培養(yǎng)基瓶、血清瓶、可穿刺蓋、杜恩斯勻漿器、壓蓋器、起蓋器
6. bioland各類實(shí)驗(yàn)室耗材：pcr板、pcr聯(lián)管、pcr單管、濾芯吸頭、pp包裝瓶、移液管、細(xì)胞培養(yǎng)系列、細(xì)胞篩網(wǎng)
7、Fisher色譜純，ACROS，Alfa Aesar 有機(jī)/無機(jī)化學(xué)試劑，藥物化學(xué)試劑，基礎(chǔ)化學(xué)試劑，色譜純?cè)噭噭?/span>

THERMO FISHER NUVIA 2B Tech Durridge GW PE
Agilent     Tektronix     Megger     IKA
GMC-Instruments KYORITSU FLUKE）     HANNA     VAISALA
CIRS        DRAGER  ATOMTEX     WTW
ATI     EPK     METTLER TOLEDO
GE     NEW COSMOS     JDSU     Mecasys
EXTECH     SONATEST（聲納）  3M QUEST     PTW     LAMOTTE    HIGH VOLTAGE     RIDGID     APogee


半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備


物料 電子元器件、芯片


電子儀表






非甲烷總烴在線監(jiān)測(cè)儀，有機(jī)揮發(fā)物氣體監(jiān)測(cè)儀，沼氣檢測(cè)儀，大氣環(huán)境在線檢測(cè)儀，空氣質(zhì)量指數(shù)檢測(cè)儀器，大氣氣象綜合分析系統(tǒng)，林業(yè)大氣環(huán)境檢測(cè)儀，交通環(huán)境大氣污染檢測(cè)，惡臭工作站

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備


產(chǎn)品品牌：Frontier Semiconductor

產(chǎn)品型號(hào)：FSM 128

產(chǎn)品描述：FSM128系列設(shè)備，裝備有光學(xué)掃描系統(tǒng)。

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備簡(jiǎn)介

       FSM推出基于商業(yè)化應(yīng)用的激光掃描光學(xué)杠桿（Optilever）技術(shù)，主要應(yīng)用于薄膜應(yīng)力和晶圓彎曲測(cè)量。該設(shè)備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋，分層，突起和空隙是如何形成的問題。FSM128系列設(shè)備，適合在半導(dǎo)體，三-五族，太陽能，微機(jī)電，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和液晶面板行業(yè)的下一代器件的研發(fā)和生產(chǎn)中使用。

快速&非接觸激光掃描

3-D 視圖 &輪廓圖

可在室溫&高溫環(huán)境下測(cè)量

適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測(cè)量需求可定制)
可使用機(jī)械手臂搬送晶圓

 

主要設(shè)計(jì)特性:
·  多用途
FSM 128 NT 可以兼容測(cè)量50-200mm尺寸晶圓，而無需更換晶圓樣品載片臺(tái)。FSM 128系列其它型號(hào)主要針對(duì)其它尺寸樣品設(shè)計(jì)。(例如：FSM128L可以測(cè)量大到300mm尺寸的晶圓樣品，而FSM 128G則專門設(shè)計(jì)來測(cè)量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
·  樣品容易放置和回收
設(shè)計(jì)的可自動(dòng)伸縮開關(guān)門機(jī)構(gòu)，方便從樣品載片臺(tái)上放置和回收晶圓樣品，使多片晶圓測(cè)量變得輕而易舉。
·  自動(dòng)切換雙波段激光
FSM128系列具有的自動(dòng)激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切換到不同波長(zhǎng)的另外一只激光進(jìn)行掃描。這使客戶可以測(cè)量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會(huì)遇到無法測(cè)量的問題。
·  2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的可旋轉(zhuǎn)載片臺(tái)，可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應(yīng)力變化分布，并準(zhǔn)確反映出工藝和均勻性有問題的區(qū)域。
·  薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測(cè)量功能，使設(shè)備變成一臺(tái)可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境下靈活使用強(qiáng)大的桌面型設(shè)備。

測(cè)量結(jié)果圖表和Map可以很容易以Excel或者Word文檔輸出生成報(bào)告

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體, LED,太陽能,數(shù)據(jù)存儲(chǔ) & 液晶面板產(chǎn)業(yè)




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