AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 寧波舜宇儀器有限公司
品牌 SOPTOP/舜宇
型號 AWL系列
產(chǎn)地
廠商性質 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/2/13 21:57:46
訪問次數(shù) 7591

產(chǎn)品標簽

晶圓檢查全自動晶圓搬運系統(tǒng)晶圓缺陷光學檢測設備晶圓搬送機晶圓搬運系統(tǒng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

寧波舜宇儀器有限公司是舜宇光學科技集團的全資子公司，公司設有“顯微儀器”、“智能裝備”、“半導體裝備”三大事業(yè)部。

顯微儀器事業(yè)部主要從事光學顯微鏡、“三化”（數(shù)碼化、自動化、智能化）顯微鏡的研發(fā)、制造、營銷和服務，產(chǎn)品廣泛應用于科研、醫(yī)療、教學、工業(yè)等領域，并與蔡司、奧林巴斯、徠卡等保持長期的合作關系。

智能裝備事業(yè)部專注于光學成像、軟件與圖像算法、精密機械與自動化控制等技術的研究與應用，致力于自動化檢測和精密裝配設備的開發(fā)與制造，廣泛應用于手機產(chǎn)業(yè)鏈、車載產(chǎn)業(yè)鏈、面板產(chǎn)業(yè)制造等領域。

半導體裝備事業(yè)部聚焦半導體量檢測設備和儀器的開發(fā)與制造，產(chǎn)品應用于半導體和泛半導體制造領域，已與國內頭部半導體企業(yè)建立合作關系，并將持續(xù)為中國半導體量檢測事業(yè)貢獻力量。

展開

激光共聚焦顯微鏡，生物顯微鏡，熒光顯微鏡，金相顯微鏡，體視顯微鏡，偏光顯微鏡，數(shù)碼顯微鏡，工具顯微鏡

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AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查

一個晶圓在經(jīng)過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多類配置，分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活。

AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計，操作舒適、簡便。

1.360°宏觀檢查：
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。

2.人機工程學設計：

LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數(shù)一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。