M+200S 半導(dǎo)體噴膠機(jī)

一、特點(diǎn)：

藥液物也可以均勻地涂布在傾斜等不平表面上的槽基板。

支持苯并環(huán)丁烯（BCB），各種聚合物等（需要稀釋液）。

對(duì)應(yīng)于各種大小、形狀，還可以通過交換在樣品臺(tái)上的樣品。

比傳統(tǒng)的噴涂裝置的成本低，易于操作。

工作臺(tái)面為了便于清洗的可拆卸頂板。

二、產(chǎn)品規(guī)格：固定式和移動(dòng)式噴涂機(jī)噴涂的樣本格式

手動(dòng)上下取片

PLC控制半自動(dòng)操作控制

噴霧干燥的空氣和噴霧化學(xué)泵送系統(tǒng)

工作臺(tái)平面可旋轉(zhuǎn)

噴霧噴嘴高度范圍為80?150毫米（從樣品臺(tái)表面）

范圍約400毫米的直線運(yùn)動(dòng)（全行程的直線運(yùn)動(dòng)）

清潔干燥的空氣：5KG / C㎡（φ6mm氣動(dòng)管連接口）

電源：AC220V 1800W

排風(fēng)：φ100mm圓片分鐘連接管道直徑為100升/排氣

重量： 150kg以下重量

外形尺寸：1300×800×800毫米的機(jī)身（H×W×D）

三、芯片潔凈室的溫度與濕度

潔凈空間的溫度和濕度(RH)主要根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的情況下，還要考慮舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，對(duì)溫度和濕度的要求有越來(lái)越嚴(yán)格的趨勢(shì)。溫濕度對(duì)勻膠顯影機(jī)有哪些影響？溫濕度可造成的危害：

由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以溫度波動(dòng)范圍越來(lái)越小。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，要求作為掩模材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)差異越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度升高1度，會(huì)引起0.24um的線膨脹，所以必須有±0.1度的溫差，同時(shí)濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊沽?，產(chǎn)品會(huì)有污染，特別怕鈉的半導(dǎo)體車間，這個(gè)車間溫度不要超過25度。

半導(dǎo)體在溫度系數(shù)和電阻之間具有反比關(guān)系。加熱時(shí)，半導(dǎo)體電導(dǎo)增加，電阻降低。最外層的電子與材料化合物的原子核分離。隨著自由電子的增加，電阻相應(yīng)下降。在制造半導(dǎo)體時(shí)，將溫度保持在一定范圍內(nèi)至關(guān)重要，這樣成品芯片才能在其應(yīng)用中正常運(yùn)行。高濕度會(huì)導(dǎo)致更多問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁會(huì)結(jié)露，在精密器件或電路中會(huì)引起各種事故。當(dāng)相對(duì)濕度為50%時(shí)，很容易生銹。

另外，當(dāng)濕度過大時(shí)，附著在硅片表面的灰塵會(huì)被化學(xué)吸附在表面而難以去除。相對(duì)濕度越高，附著物越難去除，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，由于靜電力的作用，顆粒很容易吸附在表面，大量的半導(dǎo)體器件容易發(fā)生故障。

總結(jié)起來(lái)即:靜電荷的積累;細(xì)菌生長(zhǎng);水分凝結(jié);金屬腐蝕;光刻問題。此外，濕度可能是潔凈室工作人員出汗的原因。如果潔凈室的環(huán)境太干燥，供應(yīng)包裝或標(biāo)簽上的殘留顆粒可能會(huì)粘在手套(或其他表面)上。低于30%的濕度會(huì)給員工帶來(lái)麻煩，可能會(huì)導(dǎo)致呼吸不適和皮膚破裂。

溫濕度的標(biāo)準(zhǔn):將相對(duì)濕度控制并保持在40%至60%之間溫度控制在22C-23C之間如何監(jiān)控并調(diào)節(jié)潔凈室的溫濕度

芯片潔凈室的溫濕度通常由專門的環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量和調(diào)整。這些系統(tǒng)通常包括溫濕度傳感器、數(shù)據(jù)記錄器和環(huán)境控制設(shè)備。溫濕度傳感器:這些傳感器被放置在潔凈室的關(guān)鍵位置，可以實(shí)時(shí)測(cè)量環(huán)境的溫度和濕度。這些傳感器通常使用電阻或電容的變化來(lái)測(cè)量溫濕度。例如，某些類型的溫度傳感器使用材料的電阻隨溫度變化的特性來(lái)測(cè)量溫度，而濕度傳感器使用材料的電容隨濕度變化的特性來(lái)測(cè)量濕度。#勻膠顯影設(shè)備#全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)#勻膠機(jī)、顯影機(jī)、半導(dǎo)體噴膠機(jī)#愛姆加電子設(shè)備

四、芯片無(wú)塵室的超凈服介紹

在勻膠顯影設(shè)備凈化間，工作人員通常需要穿著超凈服以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和純度，保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的精確。這種服裝的設(shè)計(jì)主要是為了防止工作人員的身體表面或呼出的空氣對(duì)微型電子元件的制造環(huán)境產(chǎn)生污染。超凈服通常被稱為Cleanroom Suit"或者"Bunny Suit"，做半導(dǎo)體制造的小伙伴應(yīng)該對(duì)超凈服比較熟悉，但是你確定自己懂它嗎?

超凈服的歷史——超凈服，是由英特爾Fab工廠提出，其歷史可以追溯到1968年。當(dāng)時(shí)的芯片無(wú)塵室內(nèi)工作人員穿著自己的衣物，并且環(huán)境并非無(wú)菌的。甚至有人會(huì)把比薩餅放在擴(kuò)散爐上烘烤加熱。到了1971年，Intel的Fab 2工廠要求員工穿著專用罩衣，但不需要頭套或護(hù)腿。員工可以把它們帶回家洗，這種做法在常規(guī)清潔度上可能足夠，但卻無(wú)法防止小顆粒污染微芯片。更嚴(yán)格的清潔服裝協(xié)議始于1973年，Intel的Fab3工廠普及了我們目前熟悉的現(xiàn)代超凈服，并在1980年成為Intel公司的標(biāo)準(zhǔn)，隨后流行開來(lái)。

超凈服的材質(zhì)——常見材質(zhì)為聚酯。超凈服所用的聚酯材料是一種常見的聚合物，主要由聚酯纖維制成。聚酯是一種大分子聚合物，由酯基連接的單體重復(fù)單元組成。酯基是一個(gè)化學(xué)功能團(tuán)，由一個(gè)羰基(C=O)和一個(gè)氧原子(-0-)組成，形式為 -C00-。聚酯是聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)。

以下是聚酯材料的一些主要特性:

1.耐磨:聚酯是一種非常耐磨的材料，其強(qiáng)度比自然纖維高。

2.耐化學(xué)品:聚酯對(duì)大多數(shù)常見的工業(yè)化學(xué)品具有很好的抵抗力，包括酸，堿和有機(jī)溶劑。這使得它在需要接觸化學(xué)品的環(huán)境中非常有用。

3.易洗:聚酯纖維的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它易于清洗，可以在機(jī)器中洗滌，且不易皺。此外，它可以在高溫下清洗，這對(duì)于保持超凈服的潔凈至關(guān)重要。

4.防靜電:聚酯本身可能會(huì)產(chǎn)生靜電，但是超凈服的聚酯材料通常會(huì)摻入防靜電纖維或者涂覆有防靜電劑，以降低靜電積累。超凈服的靜電如何導(dǎo)走的?

超凈服防止靜電積聚的一種重要方式是通過地面接地系統(tǒng)，將人體產(chǎn)生的靜電導(dǎo)入大地。在勻膠顯影設(shè)備生產(chǎn)車間，員工通常需要穿戴特別的防靜電鞋或鞋套。這些鞋子或鞋套是由導(dǎo)電材料制成的，可以將人體產(chǎn)生的靜電從人體導(dǎo)入到地面。#凈化間的勻膠顯影設(shè)備#半自動(dòng)勻膠機(jī)#勻膠顯影工藝#愛姆加半導(dǎo)體設(shè)備

勻膠機(jī)又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),

勻膠工作原理：總的來(lái)說,他們?cè)矶际且粯拥?即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不

同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。