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GL8 MLA Gen2工藝紫外納米壓印光刻設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司
- 品牌 天仁微納
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/10 16:18:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 736
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GL8 MLA Gen2工藝紫外納米壓印光刻設(shè)備是一種專(zhuān)門(mén)為晶圓級(jí)光學(xué)加工(WLO-Wafer Level Optics)開(kāi)發(fā)的全幅紫外納米壓印設(shè)備,可在200mm基底面積上平行復(fù)制生產(chǎn)聚合物光學(xué)器件。
GL8 MLA Gen2是一種專(zhuān)門(mén)為晶圓級(jí)光學(xué)加工(WLO-Wafer Level Optics)開(kāi)發(fā)的全幅紫外納米壓印設(shè)備,可在200mm基底面積上平行復(fù)制生產(chǎn)聚合物光學(xué)器件。
該設(shè)備支持從晶圓級(jí)母模具表面自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,工作模具具有精度高,壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),可以顯著降低大面積納米壓印工藝中模具使用成本。內(nèi)置的點(diǎn)膠系統(tǒng)、APC(主動(dòng)模具基底平行控制)技術(shù)、以及自動(dòng)脫模功能都保證了大面積晶圓級(jí)光學(xué)生產(chǎn)的精度、均勻性(TTV)與良率。同時(shí),自動(dòng)模具基底對(duì)位系統(tǒng)還可實(shí)現(xiàn)晶圓之間對(duì)位堆疊工藝(WLS-Wafer Level Stacking)。
GL8 MLA納米壓印設(shè)備適用于DOE、勻光片(Diffuser)、微透鏡陣列、菲涅爾透鏡等產(chǎn)品的研發(fā)和量產(chǎn)。
GL8 MLA Gen2工藝紫外納米壓印光刻設(shè)備主要功能
●經(jīng)過(guò)量產(chǎn)驗(yàn)證的200mm晶圓級(jí)光學(xué)生產(chǎn)(WLO)設(shè)備
●APC主動(dòng)模具基底平行控制技術(shù),確保大面積晶圓壓印TTV均勻性
●設(shè)備內(nèi)自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,降低大面積納米壓印模具使用成本
●內(nèi)置自動(dòng)點(diǎn)膠功能
●自動(dòng)壓印、自動(dòng)曝光固化、自動(dòng)脫模,工藝過(guò)程無(wú)需人工干預(yù)
●標(biāo)配高功率紫外LED面光源(365nm,光強(qiáng)>1000mW/cm2 ),水冷冷卻,特殊功率以及特殊、混合波長(zhǎng)光源可訂制,支持各種商用納米壓印材料
●標(biāo)配設(shè)備內(nèi)部潔凈環(huán)境與除靜電裝置
●隨機(jī)提供全套納米壓印工藝與材料,包括標(biāo)準(zhǔn)示范WLO等工藝流程,幫助客戶零門(mén)檻達(dá)到高質(zhì)量的納米壓印水平
設(shè)備照片
![](https://img54.chem17.com/dff4085807f5b9026a77064666816488233818f748c0705b306b3c78403d496b42f8ea104f2d4f92.jpg)
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相關(guān)參數(shù)
兼容基底尺寸 | 2inch、100mm、150mm、200mm 特殊尺寸可以定制 |
支持基底材料 | 硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等 |
上下片方式 | 手動(dòng)上下片 |
晶圓預(yù)對(duì)位 | 機(jī)械夾持預(yù)對(duì)位,可選裝光學(xué)巡邊預(yù)對(duì)位 |
納米壓印技術(shù) | APC主動(dòng)平行控制技術(shù),適合大面積WLO、WLS等工藝 |
壓印精度 | 優(yōu)于10nm* |
結(jié)構(gòu)深寬比 | 優(yōu)于10比1* |
TTV控制 | 微米級(jí)精度(200mm晶圓) |
紫外固化光源 | 紫外LED(365nm)面光源,光強(qiáng)>1000mW/cm2,水冷冷卻(2000mW/cm2類(lèi)型光源可選配) |
設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制 | 標(biāo)配,外部環(huán)境Class 100,內(nèi)部環(huán)境可達(dá)Class 10* |
自動(dòng)壓印 | 支持 |
自動(dòng)脫模 | 支持 |
自動(dòng)工作模具復(fù)制 | 支持 |
模具基底對(duì)位功能 | 自動(dòng)對(duì)位(選配) |