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GL8 MLA Gen2工藝紫外納米壓印光刻設(shè)備

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青島天仁微納科技有限責(zé)任公司成立于2015年,是引新的納米壓印設(shè)備和解決方案提供商。公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力是為客戶提供納米壓印整體解決方案。產(chǎn)品與服務(wù)涵蓋納米壓印相關(guān)的設(shè)備、模具、材料、工藝以及生產(chǎn)咨詢服務(wù)。我們致力于拓展納米壓印技術(shù)在創(chuàng)新產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用,例如發(fā)光二極管(LEDs)、微納機(jī)電系統(tǒng)(MEMs/NEMs)、虛擬現(xiàn)實(shí)和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)光波導(dǎo)(AR Waveguides)、3D傳感、生物芯片、顯示以及太陽(yáng)能等。

微納加工設(shè)備,配套材料,配套產(chǎn)品,相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)咨詢服務(wù)

GL8 MLA Gen2工藝紫外納米壓印光刻設(shè)備是一種專(zhuān)門(mén)為晶圓級(jí)光學(xué)加工(WLO-Wafer Level Optics)開(kāi)發(fā)的全幅紫外納米壓印設(shè)備,可在200mm基底面積上平行復(fù)制生產(chǎn)聚合物光學(xué)器件。

GL8 MLA Gen2是一種專(zhuān)門(mén)為晶圓級(jí)光學(xué)加工(WLO-Wafer Level Optics)開(kāi)發(fā)的全幅紫外納米壓印設(shè)備,可在200mm基底面積上平行復(fù)制生產(chǎn)聚合物光學(xué)器件。

該設(shè)備支持從晶圓級(jí)母模具表面自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,工作模具具有精度高,壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),可以顯著降低大面積納米壓印工藝中模具使用成本。內(nèi)置的點(diǎn)膠系統(tǒng)、APC(主動(dòng)模具基底平行控制)技術(shù)、以及自動(dòng)脫模功能都保證了大面積晶圓級(jí)光學(xué)生產(chǎn)的精度、均勻性(TTV)與良率。同時(shí),自動(dòng)模具基底對(duì)位系統(tǒng)還可實(shí)現(xiàn)晶圓之間對(duì)位堆疊工藝(WLS-Wafer Level Stacking)。

GL8 MLA納米壓印設(shè)備適用于DOE、勻光片(Diffuser)、微透鏡陣列、菲涅爾透鏡等產(chǎn)品的研發(fā)和量產(chǎn)。

GL8 MLA Gen2工藝紫外納米壓印光刻設(shè)備主要功能

●經(jīng)過(guò)量產(chǎn)驗(yàn)證的200mm晶圓級(jí)光學(xué)生產(chǎn)(WLO)設(shè)備
●APC主動(dòng)模具基底平行控制技術(shù),確保大面積晶圓壓印TTV均勻性
●設(shè)備內(nèi)自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,降低大面積納米壓印模具使用成本
●內(nèi)置自動(dòng)點(diǎn)膠功能
●自動(dòng)壓印、自動(dòng)曝光固化、自動(dòng)脫模,工藝過(guò)程無(wú)需人工干預(yù)
●標(biāo)配高功率紫外LED面光源(365nm,光強(qiáng)>1000mW/cm2 ),水冷冷卻,特殊功率以及特殊、混合波長(zhǎng)光源可訂制,支持各種商用納米壓印材料
●標(biāo)配設(shè)備內(nèi)部潔凈環(huán)境與除靜電裝置
●隨機(jī)提供全套納米壓印工藝與材料,包括標(biāo)準(zhǔn)示范WLO等工藝流程,幫助客戶零門(mén)檻達(dá)到高質(zhì)量的納米壓印水平

設(shè)備照片

相關(guān)參數(shù)

兼容基底尺寸2inch、100mm、150mm、200mm
           特殊尺寸可以定制
支持基底材料硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
上下片方式手動(dòng)上下片
晶圓預(yù)對(duì)位機(jī)械夾持預(yù)對(duì)位,可選裝光學(xué)巡邊預(yù)對(duì)位
納米壓印技術(shù)APC主動(dòng)平行控制技術(shù),適合大面積WLO、WLS等工藝
           
壓印精度優(yōu)于10nm*
結(jié)構(gòu)深寬比優(yōu)于10比1*
TTV控制微米級(jí)精度(200mm晶圓)
紫外固化光源紫外LED(365nm)面光源,光強(qiáng)>1000mW/cm2,水冷冷卻(2000mW/cm2類(lèi)型光源可選配)
設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制標(biāo)配,外部環(huán)境Class 100,內(nèi)部環(huán)境可達(dá)Class 10*
自動(dòng)壓印支持
自動(dòng)脫模支持
自動(dòng)工作模具復(fù)制支持
模具基底對(duì)位功能自動(dòng)對(duì)位(選配)






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