官方微信|手機版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>其它半導體行業(yè)儀器設備>其它半導體設備>RESmap-1 電阻率測試儀(RESmap )

分享
舉報 評價

RESmap-1 電阻率測試儀(RESmap )

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 束蘊儀器(上海)有限公司
  • 品牌 Freiberg Instruments
  • 型號 RESmap-1
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/2/11 14:40:01
  • 訪問次數(shù) 1593

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


束蘊儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國Freiberg等實驗室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作,迅速成為業(yè)界儀器供應商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團隊,我們熱忱的信仰科學,相信科學技術能為我們的客戶帶來高品質的生活,為社會的進步起到積極的促進作用。

束蘊儀器為各類客戶提供優(yōu)質的實驗室和工業(yè)檢測儀器及過程控制設備,專業(yè)的應用支持及完善的售后服務,在中國大陸的諸多領域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天,政府組織、檢驗機構、及工業(yè)企業(yè)。產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業(yè)。

公司的宗旨:為客戶量身打造合適的綜合解決方案、技術支持和現(xiàn)場服務,優(yōu)質的客戶培訓,快速及時的售后服務。

 

束蘊儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀          (ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫、JADE軟件--衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)授權代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權代理商

--BPCL化學發(fā)光儀--微光科技華東區(qū)總代理

 


 單位名稱:束蘊儀器(上海)有限公司

詳細地址:上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室

 

 

 

 

 

MicroCT,顯微CT,微焦點CT,骨骼成像,顯微CT材料學檢測,微納顯微CT,X射線斷層掃描,TOC,元素檢測

價格區(qū)間 面議 應用領域 化工,能源,電子,汽車,綜合

電阻率測試儀(RESmap )在對低電阻率晶錠和晶圓進行非接觸式測量方式上擁有非常重要的重復性Si | Ge | 化合物半導體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導電 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]    

       


電阻率測試儀(RESmap )特征


電阻率的非接觸式測量和成像高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化
信號靈敏度基于線圈頻率讀數(shù)的高信號靈敏度,可實現(xiàn)準確可靠的電阻率測量,并具有高再現(xiàn)性和可重復性
測量時間測量時間 < 3 s,測量之間時間 < 1 s
測量速度200 mm 晶圓/晶錠 < 30 s,9個點
多點測量及測繪顯示不超過9999個點
材料外形尺寸平坦或略微彎曲的晶圓、晶錠、錠板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率≥ 0.1mm
邊緣扣除 5 mm
可靠性模塊化、緊湊的臺式儀器設計,可靠性高,正常運行時間 > 99%
電阻率測量的重復性≤ 0.15%,基于使用ANOVA   Gage R&R方法對材料系統(tǒng)分析(MSA)














更多技術規(guī)格和配置選項:  


為自動化流程做準備

可用于不同的平臺

測量方法符合

SEMI MF673標準

數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)有效性檢查

使用NIST標準

校準精度

±1%

集成紅外溫度傳感器 ±0.1°

允許報告標準溫度下的電阻率,(與樣品的實際溫度不同)

樣品厚度校準

對于高頻信號穿透深度大于穿透深度的樣品

電力要求

100-250 VAC, 5 A

尺寸

465 ′ 550 ′ 600 mm

軟件控制

配備Window10或新版本的標準PC,2個以太網(wǎng)端口

















用戶友好且*的操作軟件:        

◇  電阻率測量配方;        

◇  導出/導入功能和原始數(shù)據(jù)訪問;        

◇  多級用戶賬戶管理;

◇  所有執(zhí)行的測量概覽;

◇  繪圖選項(線、十字、星、完整地圖、地形、用戶定義圖案);

◇  分析功能包;統(tǒng)計、方差分析、溫度校正函數(shù)和數(shù)據(jù)庫;

◇  遠程訪問;基于互聯(lián)網(wǎng)的系統(tǒng)允許在世界任何地方進行遠程操作和技術支持;


    電渦流傳感器的測量原理


中心處可實現(xiàn)較大的準確性和精確度




4H-SiC晶圓整個生長面區(qū)域的電阻率變化測量


硅晶圓電阻率變化測量 — 面掃描、分布和線掃描  




化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關閉在線交流功能