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Wafer級(jí)超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)(Hprobe)

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昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應(yīng)測(cè)試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(tái)(Probe Station),低溫探針臺(tái)(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

- 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺(tái)、熱板、烤膠臺(tái) (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場(chǎng)循環(huán)核磁共振弛豫測(cè)試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

IBEX-300晶圓超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)


主要特點(diǎn): 

■   可以用于100~300mm晶圓
■   提供大的面內(nèi)和垂直磁場(chǎng)
■   磁場(chǎng)定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制
■   快速掃描能力 

■   嵌入式傳感器校準(zhǔn)
■   自動(dòng)測(cè)試程序
■   MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件
■   與標(biāo)準(zhǔn)探針卡兼容   

主要應(yīng)用方向:
■   磁性隧道結(jié)

■   磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器

■   集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)

■   智能傳感器 


技術(shù)原理:

探針臺(tái)采用特的三維磁場(chǎng)發(fā)生器,每個(gè)磁場(chǎng)空間軸立驅(qū)動(dòng)。利用這3個(gè)自由度,用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場(chǎng),也可以生成旋轉(zhuǎn)場(chǎng)。三維磁場(chǎng)裝置配備了所有相關(guān)配件,測(cè)試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包。

三維磁發(fā)生器置于探針臺(tái)部,并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場(chǎng)。為了適應(yīng)器件測(cè)試設(shè)計(jì),探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場(chǎng)發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào),取決于所使用的探針卡和探針。

1.jpg

三維磁場(chǎng)裝置

       

相關(guān)參數(shù): 


面內(nèi) (XY)

垂直 (Z)

大單軸磁場(chǎng)

350 mT

550 mT

磁場(chǎng)均勻性@ +/1mm

± 1%

± 1%

磁場(chǎng)分辨率

0.05 mT

0.02 mT

角度分辨率

0,02°

-

場(chǎng)掃描采樣率

 < 50 kHz

  < 50 kHz

R-H 回線測(cè)試時(shí)間

 < 100 ms

 < 100 ms


快速掃場(chǎng)能力:

6.jpg


儀器配置:     

Hprobe探針臺(tái)配備整套儀器驅(qū)動(dòng)和測(cè)量大多數(shù)磁性器件,如MRAM (STT、SOT、電壓控制)、傳感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。儀器可以包括源表和測(cè)量單元(SMU)、數(shù)字萬用表(DMM)、任意波形發(fā)生器(AWG)、脈沖發(fā)生器(PG)、交換矩陣、數(shù)據(jù)采集板等。其他儀器可根據(jù)要求提供,并且可以很容易地集成到工具的硬件和軟件中。 

任意波形發(fā)生器(AWG)
■   雙通道, 帶寬 40MHz
■   正弦波, 方波 & 脈沖 至30MHz
■   斜波 & 三角波 至 200kHz
■   任意波形 < 1M 采樣/通道
■   大采樣速率 250M 采樣/秒 

7-1.jpg

脈沖發(fā)生器(PG)
■   脈沖寬度小至 200 ps 
■  上升/下降時(shí)間< 70 ps (20%-80%)
■   輸出電壓  10 mVpp 至 5 Vpp
■   大重復(fù)頻率 500 MHz 每通道l
■   幅值 大至 5V   

源表和測(cè)量單元(SMU)
■   電壓小量程 20mV
■   電流小量程 1nA
■   > 3,000 讀數(shù) /秒

數(shù)字萬用表(DMM)
■   18 位, 小量程 100mV
■   分辨率 10nV
■   小積分時(shí)間 10μ秒   

   

探針卡:

Hprobe探針臺(tái)使用非常靈活,用戶可以使用標(biāo)準(zhǔn)的商用探針卡,也可以使用帶有DC和RF探頭的微操作器。




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