eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號 eVictor系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/5 10:18:26
- 訪問次數(shù) 283
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。
2. 設(shè)備用途/原理
eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力，背金工藝薄片傳輸及工藝，過程溫度實時監(jiān)控，優(yōu)異的溫度和應(yīng)力控制能力，雙腔傳輸平臺，多可支持 10 個工藝模塊，靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運(yùn)營成本。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 鈦、氮化鈦、鋁、 鎳、鎳釩、銀。適用工藝 鋁線、正面電工藝、背面金屬化工藝等。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。
采購中心
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