S?9220 掃描電子顯微鏡 (CD?SEM)
- 公司名稱 深圳市達(dá)瑞博電子有限公司
- 品牌 Hitachi/日立
- 型號(hào) S?9220
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/23 20:03:14
- 訪問次數(shù) 515
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 放大倍數(shù) | 1 kx 至 300 kxx |
|---|---|---|---|
| 加速電壓 | 0.5kv 至 1.3kvkV | 價(jià)格區(qū)間 | 700萬-1500萬 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
HITACHI S-9220掃描電子顯微鏡(SEM)
性能規(guī)格：
圖像分辨率：3nm （30A） at 0.8kv 加速電壓
加速電壓范圍：0.5kv 至 1.3kv
工作距離：固定
放大倍率范圍：1 kx 至 300 kx
測(cè)量范圍：0.1 至 2.0 u
重現(xiàn)性：3 nM
測(cè)量模式：全功能、多功能
吞吐量：45片/小時(shí)
SEM 圖像：1kx 至 300kx，保證重現(xiàn)性 40kx ti 200kx
載物臺(tái)位置控制：線性刻度反饋
系統(tǒng)配置：
目前配置為 200mm 晶圓尺寸
盒式接口（裝載機(jī)單元）：
Asyst 集成 SMIF
MECS 機(jī)器人/Cntrl
Leybold Turbo 帶控制器
載物臺(tái)和檢查單元：X，Y 行程范圍：0 – 200mm
控制單元
系統(tǒng)軟件：
主機(jī)： ： v12.41
SEM： 12.43
IPS： 12.40 （4500）
HV： 04.02
Stage： 01.07
Evac： 2.01
DSP： 11.10
WT： 4.05
支持選項(xiàng)：
缺陷檢測(cè)
Mag Max X300k
SECE
自動(dòng) Vid
多點(diǎn)測(cè)量
保存到 Dos FD
邊緣粗糙度
IP 讀取
孔測(cè)量
SMIF
減少掃描
操作員訪問
缺陷類型 KLA
圖像增強(qiáng)
圖像數(shù)據(jù)庫
快速 AFC
MO 驅(qū)動(dòng)器：640MB
熱敏打印機(jī)
視頻打印機(jī)
SECS/GEM 接口
真空隔離塊和軟管
動(dòng)力裝置
功率要求：208VAC，6kVA，1相，50A，頻率60 Hz
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