S-9300 臨界尺寸掃描電子顯微鏡

Hitachi S-9300 是一款 CD SEM（臨界尺寸掃描電子顯微鏡）

用于測(cè)量半導(dǎo)體工藝中的精細(xì)圖案尺寸.

以下是主要規(guī)格：

• 制造商： Hitachi

• 型號(hào)： S-9300

• 晶圓尺寸：200mm

• 電子光學(xué)系統(tǒng)：

• 電子槍：肖特基發(fā)射源

• 加速電壓：500V至1600V，10V步進(jìn)

• 探頭電流：4~24pA，通過(guò)法拉第杯自動(dòng)設(shè)置和測(cè)量

• 電磁透鏡：帶升壓電壓的 3 級(jí)電磁透鏡系統(tǒng)

• 物鏡：4 個(gè)開(kāi)口咔嗒停止，加熱孔徑可在真空外選擇/調(diào)節(jié)

• 掃描線(xiàn)圈：2級(jí)電磁偏轉(zhuǎn)

• 散光校正：通過(guò) 8 極電磁線(xiàn)圈

• 放大倍率：1000 倍至 >300000 倍

• 現(xiàn)場(chǎng)控制方法：在所有電壓下連續(xù)開(kāi)啟樣品放電

• 晶圓成像能力：8英寸（或12英寸）晶圓的整個(gè)表面

• 景深：80000倍放大倍率下>= 1.0um

• 分辨率：3nm （800V） 緩速/升壓模式

• 光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)：

• 圖像：?jiǎn)紊褂肅CD相機(jī)

• 放大倍率：110倍

• 晶圓成像：X 覆蓋范圍為 5 – 295mm，Y 覆蓋范圍為 5 – 195mm，缺口向下

• 視場(chǎng)角：1.2mm

• 工作站型號(hào)： HP B180L （9GB）

• 操作系統(tǒng)：Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本

• 軟件版本：14.71 或更高版本

它還配備了激光干涉儀平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)超高目標(biāo)尋址精度、迷你環(huán)境和兼容 FOUP 的負(fù)載端口.可以支持高級(jí)自動(dòng)化場(chǎng)景，例如通過(guò)自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）進(jìn)行FOUP交付和單個(gè)晶圓識(shí)別.