CG 4000 臨界尺寸掃描電子顯微鏡

Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）.它專為超精細(xì)半導(dǎo)體器件而設(shè)計.

以下是一些主要規(guī)格和功能：

• 分辨率：1.8nm（加速電壓：800V）

• 重復(fù)性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）

• 晶圓尺寸：300mm（200mm）

• 產(chǎn)量：36 片晶圓/小時（晶圓上有 20 個測量點）

• 加速電壓：300 - 1,600 V （10V步進(jìn)） （200 - 2,000 V：可選）

• 它提供高分辨率、高精度的計量可重復(fù)性

• 它包括高精度平均 CD （ACD） 計量功能

• 它支持行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的線邊緣粗糙度 （LER） 計量功能

• 它具有改進(jìn)的可操作性和自動維護(hù)功能

該器件被廣泛用作半導(dǎo)體工藝中CD測量的主要工具.它能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級的測量精度以及高分辨率、高精度的計量可重復(fù)性和高通量.它旨在應(yīng)對半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計規(guī)則不斷縮小時對過程控制的嚴(yán)格要求.它是一款功能強大的工具，可提供寬加速電壓范圍、高靈敏度數(shù)字成像、電荷保護(hù)校正、能量濾波器功能、精確運動控制以及自動樣品交換和聚焦.