AIT I 晶圓檢測(cè)儀
- 公司名稱 深圳市達(dá)瑞博電子有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號(hào) AIT I
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/23 20:30:30
- 訪問次數(shù) 324
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
|---|
KLA-Tencor AIT I 晶圓檢測(cè)儀
是一種用于檢測(cè)圖案化晶圓表面缺陷的系統(tǒng)。該系統(tǒng)配置為處理6英寸（150毫米）和8英寸（200毫米）的晶圓，并具備自動(dòng)對(duì)焦和雙暗場(chǎng)檢查功能。此外，它還配備了多通道采集光學(xué)系統(tǒng)、獨(dú)立可編程的空間濾波器以及X/Y驅(qū)動(dòng)/控制器機(jī)架和運(yùn)動(dòng)控制器卡。
AIT I 系統(tǒng)是一種高速晶圓測(cè)試和計(jì)量系統(tǒng)，旨在檢測(cè)即使是最小的、可能降低產(chǎn)量的隱形對(duì)眼缺陷，從而為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供更好的質(zhì)量控制和更高的產(chǎn)量。這種系統(tǒng)的使用可以顯著提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，確保在生產(chǎn)過程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修復(fù)潛在問題。
KLA-Tencor AIT I 的主要特點(diǎn)包括：
- 處理6英寸和8英寸晶圓的能力。
- 配備多通道采集光學(xué)系統(tǒng)和獨(dú)立可編程的空間濾波器。
- 自動(dòng)對(duì)焦和雙暗場(chǎng)檢查功能。
- 提供高精度的缺陷檢測(cè)能力，能夠快速準(zhǔn)確地識(shí)別并分類各種類型的缺陷。
這些特性使得KLA-Tencor AIT I 成為半導(dǎo)體制造中的重要工具，幫助制造商提高良率和生產(chǎn)效率。
KLA-Tencor AIT I 系統(tǒng)概述
配置用于6"/150mm & 8"/200mm晶圓
多通道收集光學(xué)系統(tǒng)，獨(dú)立可編程空間濾鏡
X/Y驅(qū)動(dòng)/控制器機(jī)架和運(yùn)動(dòng)控制器卡
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