AIT XUV 晶圓檢測儀
- 公司名稱 深圳市達瑞博電子有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 AIT XUV
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/23 20:37:04
- 訪問次數(shù) 460
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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KLA-Tencor AIT XUV 晶圓檢測儀
是一款優(yōu)良的晶圓測試和計量設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體行業(yè)的高精度檢測。該系統(tǒng)采用超紫外（UV）模式匹配技術(shù)和最新一代的Datalite軟件，能夠以ji高的速度和精度檢測出1/10000毫米大小的小缺陷。此外，它還具備激光掃描功能，可以進行300mm晶圓的雙暗場光學(xué)檢查，具有更高的吞吐量和靈敏度，適用于65nm生產(chǎn)需求。
AIT XUV 系統(tǒng)不僅提供快速、可靠的測試能力，還結(jié)合了多種優(yōu)良技術(shù)，如X射線、紫外光、可見光和紅外光學(xué)技術(shù)，以實現(xiàn)對納米級特征的全面測量和分析。這種多功能性使其成為當(dāng)前和下一代設(shè)備研究的理想選擇。
在實際應(yīng)用中，AIT XUV 能夠在單次通過過程中發(fā)現(xiàn)導(dǎo)致產(chǎn)量下降的關(guān)鍵缺陷，并且其性能比現(xiàn)有檢測工具提高了高達75%的吞吐量。此外，該系統(tǒng)還支持自動定位系統(tǒng)、自動對焦單元和iADC功能，以加快結(jié)果獲取速度。
KLA-Tencor AIT XUV 是一款功能強大且高效的晶圓測試和計量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，為客戶提供快速、精確的檢測解決方案。
AIT XUV 光學(xué)檢查技術(shù)
基于超紫外線（UV）模式匹配技術(shù)和最新一代Datalite軟件開發(fā)
提供高精度快速檢測1/10000毫米大小的小缺陷的能力
AIT XUV 設(shè)備特點
極紫外線（EUV）成像，10nm疊加精度
提供多種其他功能，適合尖duan設(shè)備研究和分析
AIT XUV 應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)晶圓測試和計量設(shè)備
用于當(dāng)前和下一代設(shè)備制造的高級分析 Semiconductor wafers的開發(fā)
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