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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備>UX50 晶圓探測器

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UX50 晶圓探測器

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

高密度器件檢測

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

UX50

產(chǎn)品系列: UX 系列

應用行業(yè): 汽車制造, 航空航天, 科研開發(fā), 焊縫檢測, 鑄造, 增材制造

缺陷尺寸: <1mm>1mm 缺陷

樣品尺寸: 小型, 中型, 大型

運行模式: 2D, 3D, 2D/3D

擴展視野、最大限度提高圖像質(zhì)量的CT技術(shù)

UX50搭載的強大CT技術(shù)有助于優(yōu)化零件尺寸、速度和圖像質(zhì)量。

搭載DDA的專用錐束CT技術(shù)

  • QuickScan® – 連續(xù)旋轉(zhuǎn)圖像采集

  • QualityScan –開始-停止圖像采集,也用于環(huán)形偽影去噪

  • HeliExtend – 避免錐束偽影

  • 水平和垂直視場擴展

  • 水平和多個垂直視場擴展的組合

搭載LDA的專用扇束CT技術(shù)

  • 水平視場擴展,Comet Yxlon技術(shù)

  • 確定要掃描的感興趣區(qū)域(ROI),使用圖像質(zhì)量和速度的不同線距進行掃描


技術(shù)參數(shù)


屬性相關數(shù)據(jù)
樣品直徑600 [mm]
樣品高度850 [mm] 平板探測器 / 800 [mm] 線陣列探測器
最大樣品重量100 [kg]
X射線管450 kV mini-focus
探測器類型Flat-panel detector 4343 N 平板探測器 和/或 Comet Yxlon CTScan 3 線陣列探測器
CT 模式Cone-beam CT錐束CT掃描, QuickScan快速掃描, QualityScan質(zhì)量掃描, HeliExtend螺旋擴展掃描, SpeedMode動態(tài)變速掃描, Fan-beam CT扇束CT掃描, ScanExtend (FoV extensions)掃描擴展, Volume Crop體積裁剪
體素尺寸最小至 55 [µm]
CT 檢測范圍 (3D)
平板探測器
570 x 850  [mm]
CT 檢測范圍 (3D)
線陣列探測器
600 x 800  [mm]
DR 檢測范圍
(2D)
520 x 850 [mm]
Manipulation5 axes






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