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MS6-CA 手動光刻機(jī)

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光刻機(jī)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.基本概述
MS6-CA手動光刻機(jī),作為一種手動操作的光刻設(shè)備,通過手調(diào)旋鈕來改變其X軸、Y軸和角度(如theta角)以完成對準(zhǔn)。雖然其對準(zhǔn)精度相對較低,但在某些特定的應(yīng)用場景下,如小批量生產(chǎn)、研發(fā)實(shí)驗(yàn)或教學(xué)演示中,仍然具有一定的應(yīng)用價值。

2.主要特點(diǎn)

手動操作:MS6-CA光刻機(jī)采用手動調(diào)節(jié)方式,用戶可以通過旋鈕直接控制設(shè)備的移動和定位,無需復(fù)雜的程序控制。
靈活性高:由于采用手動操作,用戶可以根據(jù)實(shí)際需要靈活調(diào)整對準(zhǔn)精度和曝光參數(shù),適用于多種不同的應(yīng)用場景。
成本較低:與全自動或半自動光刻機(jī)相比,MS6-CA手動光刻機(jī)的制造成本和維護(hù)成本相對較低,適合預(yù)算有限或需求量不大的用戶。
3.性能指標(biāo)

雖然具體的性能指標(biāo)可能因產(chǎn)品型號和生產(chǎn)廠家而異,但一般來說,MS6-CA手動光刻機(jī)的性能指標(biāo)可能包括以下幾個方面:

支持基片尺寸范圍:根據(jù)設(shè)備設(shè)計(jì),MS6-CA可能支持多種不同尺寸的基片。
分辨率:光刻機(jī)的分辨率決定了其能夠制造的電路圖形的小尺寸。MS6-CA的分辨率可能受到其物鏡設(shè)計(jì)和曝光方式等因素的限制。對準(zhǔn)精度:由于MS6-CA是手動操作的光刻機(jī),其對準(zhǔn)精度可能相對較低,但仍能滿足一定精度的加工需求。
曝光方式:MS6-CA可能采用接觸式、接近式或投影式等不同的曝光方式,具體取決于設(shè)備的設(shè)計(jì)和應(yīng)用需求。
4.應(yīng)用場景

MS6-CA手動光刻機(jī)主要適用于以下場景:

小批量生產(chǎn):在芯片制造、微電子器件生產(chǎn)等域,對于小批量或試制階段的產(chǎn)品,MS6-CA手動光刻機(jī)可以提供靈活且成本較低的解決方案。
研發(fā)實(shí)驗(yàn):在科研機(jī)構(gòu)或高校實(shí)驗(yàn)室中,MS6-CA手動光刻機(jī)可用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)和教學(xué)演示,幫助學(xué)生和研究人員了解光刻工藝的基本原理和操作技巧。
特殊應(yīng)用:在某些特殊應(yīng)用場景下,如需要處理非標(biāo)準(zhǔn)基片或進(jìn)行特殊工藝的實(shí)驗(yàn)中,MS6-CA手動光刻機(jī)也可能發(fā)揮重要作用。




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