EDC-650-8B 勻膠機(jī)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Laurell
- 型號(hào) EDC-650-8B
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/4 15:57:02
- 訪問次數(shù) 166
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1.產(chǎn)品概述:
Laurell的EDC-650-8B勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能。這款650系列EDC系統(tǒng)將可容納大200mm晶圓和7英寸×7英寸(178mm×178mm)基板。雖然這個(gè)系統(tǒng)有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。
2.設(shè)備原理:
利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。
3.產(chǎn)品特色:
650系列過程控制器采用堅(jiān)固的微處理器,并使用其隨附的PC軟件(編寫在面向?qū)ο蟮木幊陶Z(yǔ)言中),它在過程中都實(shí)現(xiàn)了高的靈活性定義和使用。該控制器允許操作員在流程執(zhí)行過程中進(jìn)行實(shí)時(shí)交互,包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場(chǎng)輕松快速地持續(xù)更新。
650系列控制器也可以與帶有Spin3000(Laurell的過程管理軟件)的PC結(jié)合使用。使用PC增加了在運(yùn)行過程、遠(yuǎn)程操作、編程或通過LAN或Internet進(jìn)行通信時(shí)記錄過程的能力。該軟件免費(fèi)提供,使操作員能夠創(chuàng)建虛擬過程模擬,甚至超出硬件安裝的旋轉(zhuǎn)處理器的能力,實(shí)際上讓他們?cè)谶M(jìn)入過程之可以嘗試一下。所有650個(gè)系統(tǒng)都可以通過簡(jiǎn)單的插件模塊進(jìn)行升或重新使用,而無(wú)需返回工廠,無(wú)論是實(shí)際還是虛擬,并且可以包含幾乎無(wú)限數(shù)量的流程和步驟。