GEN10 分子束外延MBE

1. 產(chǎn)品概述：

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合，是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素，無論應(yīng)用是什么。

自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移可實(shí)現(xiàn)高系統(tǒng)利用率，允許多名研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)

經(jīng)濟(jì)地升到其他增長(zhǎng)模塊的路徑，多三個(gè)

集群架構(gòu)中可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊可在一個(gè)真空系統(tǒng)中生長(zhǎng)不相容的材料

直接通往更大規(guī)模生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)的工藝路徑 

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合，是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素，無論應(yīng)用是什么。